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文章编号：23时间：2024-12-19人气：
IT之家12月19日消息，据报道，日本先进逻辑半导体制造商Rapidus近日宣布，他们引进了日本境内首台ASML TWINSCAN XE:3800E光刻机，并于昨日在北海道千岁市的IIM-1晶圆厂完成了交付和启动安装工作。这标志着日本首次引入了用于量产的EUV光刻设备。
在纪念仪式上，Rapidus的首席执行官、日本政府代表、北海道及千岁市地方政府代表、ASML高管以及荷兰驻日本大使等相关人士出席了活动，共同见证了这一重要时刻。ASML TWINSCAN XE:3800E是ASML EXE系列0.33（Low）NA EUV光刻机的最新型号，能够满足Rapidus首代量产工艺2nm的制造需求。该光刻机与0.55（high）NA EXE平台共享部分组件，使晶圆吞吐量比之前的NXE:3600D提升了37.5%。
除了核心的EUV光刻机外，Rapidus还计划在IIM-1晶圆厂安装一系列配套先进半导体制造设备和全自动材料处理系统，以实现2nm制程的GAA（全环绕栅极）结构半导体的生产。Rapidus再次确认，IIM-1晶圆厂将于2025年4月开始试产，该晶圆厂将采用单晶圆工艺进行生产。Rapidus计划在这一模式下构建名为RUMS（快速和统一制造服务）的新型半导体代工模式。
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