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《 压 电 与 声 光 》 编 辑 部 请 选 择 中 文 标 题 英 文 标 题 作 者 中 文 名 作 者 英 文 名 中 文 摘 要 英 文 摘 要 中 文 关 键 词 英 文 关 键 词 单 位 中 文 名 单 位 英 文 名 中 图 分 类 号 D O I 高 级 搜 索 首 页 期 刊 介 绍 编 委 会 编 辑 部 投 稿 须 知 信 息 公 告 联 系 我 们 论 文 查 重 E n g l i s h 0 作 者 登 录 审 稿 登 录 读 者 登 录 编 辑 登 录 特 邀 专 题 M o r e > > 精 彩 推 荐 M o r e > > 编 辑 部 动 态 M o r e > > 专 栏 征 稿 — — 新 型 惯 性 技 术 及 应 用 专 栏 征 稿 — — 磁 声 耦 合 材 料 及 器 件 《 压 电 与 声 光 》 入 选 《 科 技 期 刊 世 界 影 响 力 指 数 （ W J C I ） 报 告 （ 2 0 2 4 ） 》 严 正 声 明 关 于 暑 假 期 间 的 录 用 通 知 作 者 园 地 M o r e > > 投 稿 指 南 《 压 电 与 声 光 》 著 作 权 转 让 协 议 保 密 回 执 修 改 稿 要 求 E I 文 摘 要 求 关 键 词 选 取 作 图 要 求 投 稿 模 版 中 图 分 类 号 查 询 参 考 文 献 著 录 格 式 友 情 链 接 中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 第 二 十 六 研 究 所 重 庆 科 技 期 刊 学 会 官 网 《 激 光 与 红 外 》 期 刊 微 信 二 维 码 《 压 电 与 声 光 》 官 网 《 压 电 与 声 光 》 公 众 号 访 问 统 计 今 日 访 问 量 ： 总 访 问 量 ： 《 压 电 与 声 光 》 是 由 中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 （ 原 电 子 部 ） 第 二 十 六 研 究 所 ( 四 川 压 电 与 声 光 技 术 研 究 所 ) 主 办 、 国 内 外 公 开 发 行 的 学 术 性 与 技 术 性 相 结 合 的 刊 物 。 国 内 统 一 刊 号 ： C N 5 0 — 1 0 9 1 / T N ； 国 际 标 准 刊 号 ： I S S N 1 0 0 4 — 2 4 7 4 ； 国 际 刊 名 代 码 （ C O D E N ） ： Y A S H E 7 。 双 月 刊 ， 大 1 6 开 ， 1 6 0 页 ， 每 逢 双 月 出 版 。 《 压 电 与 声 光 》 是 中 文 核 心 期 刊 ； 中 国 科 技 核 心 期 刊 ； E l s e v i e r S c o p u s 数 据 库 收 录 期 刊 ； 美 国 《 E B S C O 》 数 据 库 ； 美 国 《 化 学 文 摘 》 （ C A ） 收 录 期 刊 ； 日 本 《 科 学 技 术 文 献 速 报 》 （ J I C S T ） 收 录 期 刊 ； 波 兰 《 哥 白 尼 索 引 》 （ I C ） 收 录 期 刊 ； 中 国 科 技 论 文 统 计 源 期 刊 ； 中 国 期 刊 方 阵 “ 双 效 期 刊 ” ； 《 中 国 学 术 期 刊 （ 光 盘 版 ） 》 、 《 中 国 期 刊 网 》 全 文 收 录 期 刊 等 。 [ M O R E ] 当 期 目 录 已 录 用 过 刊 浏 览 虚 拟 专 刊 下 载 排 行 引 用 排 行 文 章 快 速 检 索 全 选 反 选 导 出 第 4 7 卷 第 1 期 | 2 0 2 5 年 显 示 模 式 ： 目 录 2 0 2 5 ( 1 ) , D O I : [ 摘 要 ] ( 1 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 9 6 . 1 1 K K B ] ( 2 3 ) A b s t r a c t : 三 维 集 成 压 电 与 声 光 器 件 ( 特 邀 综 述 ) 王 梓 霖 ， 王 喆 垚 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 1 9 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 0 1 [ 摘 要 ] ( 5 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 0 . 2 4 M K B ] ( 3 2 ) A b s t r a c t : 压 电 与 声 光 器 件 是 组 成 电 子 和 信 息 系 统 必 不 可 少 的 功 能 器 件 。 然 而 , 多 数 压 电 与 声 光 器 件 采 用 特 殊 材 料 和 工 艺 制 造 , 难 以 与 硅 基 的 集 成 电 路 进 行 集 成 , 进 而 影 响 到 系 统 的 性 能 、 体 积 和 成 本 。 近 年 来 三 维 集 成 技 术 的 发 展 为 不 同 材 料 、 不 同 工 艺 的 压 电 与 声 光 器 件 与 硅 基 电 路 芯 片 的 异 质 异 构 集 成 开 辟 了 新 途 径 。 该 文 介 绍 了 三 维 集 成 的 概 念 、 分 类 和 实 现 方 法 , 并 重 点 介 绍 了 光 电 、 压 电 材 料 与 器 件 和 硅 基 电 路 的 异 质 异 构 集 成 方 案 和 研 究 进 展 , 特 别 是 光 子 器 件 以 及 压 电 声 学 器 件 与 电 子 芯 片 的 集 成 。 低 频 率 漂 移 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 李 桦 林 ， 詹 雪 奎 ， 伍 平 ， 陈 彦 光 ， 董 加 和 ， 马 晋 毅 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 2 0 2 3 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 0 2 [ 摘 要 ] ( 2 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 4 M K B ] ( 3 7 ) A b s t r a c t : 保 密 通 信 系 统 对 极 窄 带 宽 声 表 面 波 滤 波 器 需 求 迫 切 , 由 于 声 表 面 波 滤 波 器 属 于 温 度 敏 感 型 器 件 , 在 极 端 恶 劣 环 境 温 度 下 器 件 滤 波 频 率 会 发 生 较 大 漂 移 , 无 法 保 证 有 用 信 号 提 取 和 近 端 噪 声 抑 制 。 为 满 足 射 频 系 统 全 温 应 用 要 求 , 对 基 于 石 英 衬 底 的 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 的 频 率 温 度 特 性 进 行 仿 真 分 析 , 研 究 了 电 极 金 属 膜 厚 和 电 极 金 属 化 率 对 器 件 二 阶 温 度 特 性 拐 点 的 影 响 , 并 通 过 声 表 面 波 滤 波 器 结 构 参 数 优 化 , 研 制 出 低 频 率 漂 移 的 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 。 高 阻 带 抑 制 F B A R 滤 波 器 唐 小 龙 ， 陈 艳 兵 ， 金 中 ， 吴 高 米 ， 张 必 壮 ， 蒋 平 英 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 2 4 2 7 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 0 3 [ 摘 要 ] ( 1 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 4 7 M K B ] ( 2 1 ) A b s t r a c t : 采 用 一 维 M a s o n 模 型 , 研 究 了 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 ( F B A R ) 压 电 层 / 电 极 膜 厚 比 对 有 效 机 电 耦 合 系 数 的 影 响 。 随 着 压 电 层 膜 厚 占 比 的 增 加 , 谐 振 器 有 效 机 电 耦 合 系 数 逐 渐 增 大 , 通 过 膜 厚 优 化 和 流 片 实 现 了 高 频 F B A R 谐 振 器 的 研 制 。 在 采 用 梯 形 电 路 结 构 的 基 础 上 , 研 究 了 滤 波 器 级 数 、 串 并 联 谐 振 器 静 态 电 容 比 、 并 联 谐 振 器 串 联 电 感 对 滤 波 器 阻 带 抑 制 的 影 响 , 通 过 工 艺 流 片 , 制 备 了 一 款 中 心 频 率 为 4 . 4 G H z 、 通 带 最 低 损 耗 为 2 . 3 d B 、 1 d B 带 宽 为 1 1 2 M H z 、 通 带 两 侧 带 外 抑 制 优 于 5 0 d B c 的 F B A R 滤 波 器 芯 片 , 为 高 频 高 抑 制 F B A R 滤 波 器 的 研 制 提 供 了 参 考 。 一 种 低 频 高 灵 敏 度 压 电 M E M S 声 接 收 器 设 计 王 登 攀 ， 黄 晶 ， 赵 德 锋 ， 王 飞 ， 王 露 ， 刘 文 怡 ， 苗 晋 威 ， 张 立 宇 ， 袁 宇 鹏 ， 胡 义 东 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 2 8 3 1 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 0 4 [ 摘 要 ] ( 2 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 2 3 M K B ] ( 2 4 ) A b s t r a c t : 为 了 提 高 低 频 段 的 灵 敏 度 , 基 于 S c A l N 薄 膜 设 计 了 一 种 开 缝 式 低 频 高 灵 敏 度 M E M S 声 传 感 器 结 构 , 并 分 析 了 开 缝 数 量 对 谐 振 频 率 和 电 压 输 出 的 影 响 规 律 。 制 作 微 机 电 系 统 ( M E M S ) 声 接 收 器 样 品 , 当 谐 振 频 率 为 2 9 . 3 k H z 时 , 在 2 0 ~ 3 0 k H z 内 测 得 其 最 高 灵 敏 度 高 于 6 0 d B , 说 明 所 提 出 的 开 缝 式 结 构 能 在 低 频 段 实 现 高 灵 敏 度 。 具 有 陷 波 特 性 的 双 通 带 滤 波 器 设 计 赵 梦 晨 ， 张 旭 ， 孙 雯 婕 ， 何 明 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 3 2 3 9 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 0 5 [ 摘 要 ] ( 1 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 0 0 M K B ] ( 2 4 ) A b s t r a c t : 提 出 了 一 种 具 有 陷 波 特 性 的 双 通 带 滤 波 器 , 并 利 用 奇 偶 模 理 论 分 析 了 该 滤 波 器 的 传 输 特 性 。 滤 波 器 由 倒 π 型 谐 振 器 、 T 型 谐 振 器 和 输 入 输 出 并 联 馈 线 组 成 , 同 时 在 倒 π 型 谐 振 器 枝 节 上 加 载 阶 跃 阻 抗 ( S I R ) 抑 制 第 一 通 带 的 二 次 谐 波 。 通 过 对 滤 波 器 进 行 整 体 仿 真 并 优 化 其 陷 波 频 率 和 深 度 , 最 终 得 到 的 陷 波 频 率 分 别 为 1 . 8 G H z 和 6 . 7 G H z , 且 深 度 均 达 到 1 9 d B 以 下 。 最 后 对 双 通 带 滤 波 器 进 行 实 物 加 工 和 测 试 , 得 到 两 个 通 频 带 分 别 为 1 . 4 4 ~ 2 . 4 G H z 、 5 . 4 ~ 7 . 4 G H z , 通 带 内 插 入 损 耗 分 别 为 1 . 1 6 d B 和 1 . 6 d B , 通 带 间 隔 离 度 最 大 可 达 5 0 d B 。 实 测 结 果 与 仿 真 结 果 吻 合 良 好 , 验 证 了 所 提 滤 波 器 结 构 和 设 计 方 法 的 可 行 性 。 一 种 B G A 封 装 的 低 损 耗 毫 米 波 前 端 模 组 设 计 蒲 星 明 ， 赵 怡 ， 董 刚 ， 韩 世 宏 ， 范 齐 升 ， 余 怀 强 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 4 0 4 4 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 0 6 [ 摘 要 ] ( 1 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 2 0 M K B ] ( 2 4 ) A b s t r a c t : 针 对 小 型 化 、 低 成 本 化 、 集 成 化 T / R 组 件 的 需 求 , 提 出 了 一 种 工 作 在 3 0 ~ 4 0 G H z 的 毫 米 波 前 端 模 组 。 该 模 组 采 用 高 温 共 烧 陶 瓷 ( H T C C ) 基 板 和 球 栅 阵 列 ( B G A ) 封 装 , 实 现 了 4 个 收 发 通 道 的 高 密 度 集 成 , 具 备 信 号 放 大 、 功 率 分 配 和 幅 相 控 制 等 功 能 。 通 过 对 该 模 组 毫 米 波 信 号 垂 直 互 连 结 构 的 仿 真 优 化 , 实 现 了 该 结 构 在 毫 米 波 频 段 的 低 损 耗 信 号 传 输 。 设 计 制 作 P C B 测 试 板 对 该 垂 直 互 连 结 构 进 行 测 试 验 证 , 经 计 算 得 到 该 垂 直 互 连 结 构 最 高 插 入 损 耗 为 0 . 7 8 d B 。 采 用 该 毫 米 波 信 号 垂 直 互 连 结 构 制 作 了 一 款 K a 波 段 四 通 道 毫 米 波 前 端 模 组 。 测 试 结 果 表 明 , 该 模 组 在 3 0 ~ 4 0 G H z 时 单 通 道 发 射 功 率 大 于 2 0 d B m , 接 收 增 益 大 于 2 1 . 3 3 d B , 驻 波 比 优 于 1 . 5 1 , 满 足 射 频 系 统 的 应 用 需 求 。 面 向 5 G 应 用 的 超 宽 带 M I M O 天 线 设 计 王 致 远 ， 杨 福 慧 ， 杜 成 珠 ， 魏 书 荣 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 4 5 5 1 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 0 7 [ 摘 要 ] ( 1 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 6 2 M K B ] ( 2 3 ) A b s t r a c t : 针 对 目 前 国 内 5 G 中 频 段 的 宽 带 覆 盖 问 题 以 及 面 向 未 来 6 G 系 统 在 S u b 7 G H z 频 段 的 应 用 , 设 计 了 一 款 可 覆 盖 5 G 频 段 的 共 面 波 导 ( C P W ) 馈 电 超 宽 带 高 隔 离 多 输 入 多 输 出 ( M I M O ) 天 线 。 单 元 天 线 以 单 个 椭 圆 贴 片 为 基 础 , 通 过 添 加 三 叉 戟 结 构 和 切 角 操 作 实 现 了 天 线 的 超 宽 带 特 性 。 天 线 含 有 2 个 单 元 槽 天 线 , 可 用 于 2 × 2 的 M I M O 天 线 阵 列 , 天 线 尺 寸 为 1 1 8 m m × 6 6 m m × 0 . 8 m m 。 两 个 单 元 天 线 采 用 平 行 放 置 模 式 , 且 两 个 单 元 天 线 的 地 板 互 联 , 同 时 采 用 在 天 线 单 元 间 加 载 “ H ” 形 栏 栅 结 构 的 方 法 以 提 高 天 线 的 隔 离 度 。 实 测 结 果 表 明 , 天 线 的 工 作 带 宽 为 1 . 1 5 ~ 7 . 8 0 G H z , 频 段 内 的 隔 离 度 均 大 于 2 0 d B , 天 线 的 包 络 相 关 系 数 小 于 0 . 0 3 , 分 集 增 益 大 于 9 . 9 8 d B 。 该 M I M O 天 线 具 有 高 隔 离 度 和 超 宽 带 覆 盖 的 特 点 , 同 时 天 线 采 用 了 C P W 馈 电 形 式 , 更 易 应 用 于 集 成 电 路 和 各 种 超 宽 带 系 统 。 该 天 线 在 5 G 及 未 来 6 G 系 统 中 具 有 较 好 的 应 用 前 景 。 应 用 于 5 G 的 三 频 M I M O 天 线 设 计 周 籽 怡 ， 杨 志 鹏 ， 杜 成 珠 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 5 2 5 8 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 0 8 [ 摘 要 ] ( 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 4 3 M K B ] ( 2 4 ) A b s t r a c t : 随 着 5 G 通 信 技 术 的 商 用 和 卫 星 通 信 的 快 速 发 展 及 技 术 创 新 , 设 计 了 一 种 使 用 “ X ” 型 隔 离 结 构 的 三 频 二 元 多 输 入 多 输 出 ( M I M O ) 天 线 。 天 线 由 两 个 倒 置 且 平 行 放 置 的 单 元 辐 射 贴 片 组 成 , 并 通 过 在 其 正 面 、 背 面 加 载 隔 离 枝 节 来 提 高 天 线 的 隔 离 度 , 同 时 在 天 线 背 面 采 用 开 槽 技 术 来 改 善 天 线 的 带 宽 。 天 线 整 体 尺 寸 仅 有 3 7 m m × 2 5 m m × 0 . 8 m m , 实 测 工 作 频 段 为 4 . 3 ~ 5 . 8 G H z 、 8 . 0 2 ~ 9 . 3 G H z 和 1 2 . 2 ~ 1 4 . 8 G H z , 在 工 作 范 围 内 端 口 隔 离 度 均 优 于 2 3 d B , 全 频 段 包 络 相 关 系 数 ( E C C ) ＜ 0 . 0 3 , 分 集 增 益 ( D G ) ＞ 9 . 9 9 d B , 分 集 性 能 良 好 , 满 足 M I M O 天 线 传 输 性 能 的 要 求 。 研 究 表 明 , 该 天 线 适 用 于 5 G 和 卫 星 通 信 系 统 。 I C P 刻 蚀 M o 侧 壁 角 度 及 刻 蚀 速 率 的 研 究 田 本 朗 ， 梁 柳 洪 ， 何 成 勇 ， 罗 淦 ， 郭 耀 祖 ， 米 佳 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 5 9 6 2 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 0 9 [ 摘 要 ] ( 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 3 9 M K B ] ( 2 7 ) A b s t r a c t : 采 用 基 于 C l 基 气 体 的 电 感 耦 合 等 离 子 体 ( I C P ) 干 法 刻 蚀 设 备 对 金 属 M o 薄 膜 进 行 刻 蚀 , 研 究 了 刻 蚀 条 件 对 侧 壁 角 度 以 及 刻 蚀 速 率 的 控 制 。 通 过 调 节 I C P 干 法 刻 蚀 过 程 中 射 频 源 功 率 、 I C P 离 子 源 功 率 、 腔 体 压 力 、 混 合 气 体 流 量 比 例 等 工 艺 参 数 , 实 现 了 1 4 . 8 ° ~ 8 5 . 0 ° 图 形 侧 壁 倾 角 , 表 明 图 形 侧 壁 角 度 可 在 大 范 围 内 得 到 控 制 , 刻 蚀 速 率 可 在 1 4 8 ~ 2 3 2 n m / m i n 调 节 , 为 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 ( F B A R ) 器 件 研 制 工 艺 打 下 良 好 基 础 。 压 力 传 感 器 湿 法 腐 蚀 敏 感 膜 的 工 艺 研 究 闫 施 锦 ， 王 丙 寅 ， 王 志 强 ， 雷 程 ， 冀 鹏 飞 ， 邱 海 兵 ， 谭 秋 林 ， 梁 庭 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 6 3 6 8 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 1 0 [ 摘 要 ] ( 1 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 2 0 M K B ] ( 2 3 ) A b s t r a c t : 随 着 压 力 传 感 器 的 小 型 化 和 高 频 化 发 展 , 降 低 成 本 并 提 升 制 造 工 艺 成 为 当 前 研 究 的 关 键 。 该 文 通 过 优 化 硅 片 湿 法 腐 蚀 工 艺 来 降 低 压 力 传 感 器 的 制 造 成 本 , 并 使 其 性 能 更 贴 近 设 计 要 求 。 首 先 , 深 入 研 究 了 不 同 浓 度 T M A H ( 四 甲 基 氢 氧 化 铵 ) 对 硅 片 腐 蚀 效 果 的 影 响 , 通 过 优 化 腐 蚀 工 艺 条 件 , 确 定 了 在 8 0 ℃ 下 使 用 质 量 分 数 为 2 5 % 的 T M A H 作 为 腐 蚀 液 , 最 终 成 功 获 得 了 表 面 粗 糙 度 仅 为 0 . 1 2 1 μ m 的 低 粗 糙 度 硅 片 表 面 。 然 后 利 用 有 限 元 模 拟 技 术 , 对 比 了 质 量 分 数 为 5 % T M A H 湿 法 腐 蚀 条 件 下 的 灵 敏 度 ( 1 0 9 . 1 6 2 m V / M P a ) 与 质 量 分 数 为 2 5 % T M A H 湿 法 腐 蚀 条 件 下 的 灵 敏 度 ( 1 0 3 . 2 7 6 m V / M P a ) , 而 后 者 更 接 近 设 计 要 求 的 灵 敏 度 值 ( 1 0 0 m V / M P a ) 。 成 功 总 结 了 高 效 的 湿 法 腐 蚀 工 艺 , 并 基 于 该 工 艺 设 计 了 压 力 传 感 器 的 制 造 流 程 。 预 期 该 流 程 能 以 低 成 本 生 产 出 性 能 更 贴 近 设 计 要 求 的 压 力 传 感 器 , 为 压 力 传 感 器 的 小 型 化 和 高 频 化 发 展 提 供 了 有 力 的 技 术 支 持 。 压 电 超 声 换 能 器 金 属 外 壳 切 削 工 艺 研 究 李 亚 飞 ， 董 姝 ， 李 瑞 峰 ， 鲜 晓 军 ， 唐 盘 良 ， 马 晋 毅 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 6 9 7 4 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 1 1 [ 摘 要 ] ( 1 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 2 4 M K B ] ( 2 9 ) A b s t r a c t : 为 满 足 金 属 导 电 物 体 探 测 的 要 求 , 采 用 机 械 方 法 切 削 压 电 超 声 换 能 器 金 属 外 壳 以 形 成 0 . 1 0 m m 绝 缘 台 阶 。 借 助 有 限 元 仿 真 软 件 A N S Y S / L S D Y N A 分 析 发 现 , 径 向 切 削 过 程 中 陶 瓷 片 所 受 应 力 为 5 6 . 3 5 M P a , 远 小 于 轴 向 切 削 过 程 中 陶 瓷 片 所 受 应 力 2 1 6 . 2 5 M P a , 故 在 分 段 叠 加 切 削 过 程 中 陶 瓷 片 所 受 的 应 力 变 形 明 显 更 小 。 结 合 理 论 分 析 和 切 削 试 验 制 定 了 3 次 叠 加 径 向 进 刀 工 艺 , 优 化 了 金 属 残 留 毛 刺 去 除 方 法 , 解 决 了 切 削 过 程 中 频 发 的 换 能 器 匹 配 透 声 端 面 损 伤 及 其 与 压 电 陶 瓷 分 层 的 问 题 , 对 于 压 电 超 声 换 能 器 的 应 用 推 广 具 有 重 要 意 义 。 微 生 物 聚 焦 的 微 流 控 芯 片 研 究 袁 宇 鹏 ， 蒋 卓 雅 ， 李 顺 波 ， 龙 帅 ， 李 小 飞 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 7 5 8 0 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 1 2 [ 摘 要 ] ( 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 2 8 M K B ] ( 2 0 ) A b s t r a c t : 针 对 流 式 细 胞 仪 中 聚 焦 细 菌 、 酵 母 菌 等 小 直 径 微 生 物 困 难 的 问 题 , 开 展 微 生 物 聚 焦 的 微 流 控 芯 片 研 究 。 在 传 统 直 通 道 的 基 础 上 设 计 新 型 方 形 通 道 , 建 立 方 形 通 道 微 流 控 芯 片 的 有 限 元 模 型 , 通 过 流 体 与 运 动 轨 迹 的 有 限 元 仿 真 实 现 对 通 道 宽 度 、 长 度 等 结 构 参 数 的 优 化 设 计 。 通 道 宽 度 为 2 0 μ m 、 单 位 长 度 为 8 0 μ m 时 , 粒 子 仿 真 运 动 范 围 为 通 道 的 6 3 % 。 提 出 了 基 于 硅 基 衬 底 的 微 流 控 芯 片 制 备 方 法 , 制 备 出 方 形 通 道 微 流 控 芯 片 实 物 。 搭 建 了 流 式 细 胞 仪 原 理 样 机 , 对 方 形 通 道 微 流 控 芯 片 进 行 了 验 证 实 验 。 实 验 结 果 表 明 , 通 道 总 长 度 约 为 2 . 1 6 c m , 酵 母 菌 实 际 运 动 范 围 为 7 0 % , 表 明 微 流 控 芯 片 可 达 到 聚 焦 酵 母 菌 的 设 计 要 求 。 钕 掺 杂 B S P T 基 高 温 压 电 陶 瓷 的 性 能 研 究 涂 浩 ， 官 尚 义 ， 史 伟 ， 陈 强 ， 邢 洁 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 8 1 8 7 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 1 3 [ 摘 要 ] ( 7 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 4 . 8 3 M K B ] ( 2 2 ) A b s t r a c t : 采 用 传 统 固 相 反 应 法 制 备 了 N d 掺 杂 的 B i S c O 3 P b T i O 3 ( B S P T ) 高 温 压 电 陶 瓷 。 在 确 定 B S P T 准 同 型 相 界 的 基 础 上 , 系 统 研 究 了 N d 掺 杂 对 其 结 构 和 性 能 的 影 响 。 结 果 表 明 , 通 过 N d 掺 杂 可 调 控 B S P T 陶 瓷 相 结 构 和 畴 结 构 , 进 而 有 效 提 高 其 压 电 性 能 和 温 度 稳 定 性 。 当 B S 掺 杂 含 量 ( 摩 尔 分 数 ) 为 3 7 % , N d 掺 杂 浓 度 ( 摩 尔 分 数 ) 为 3 . 0 % 时 , 陶 瓷 具 有 最 佳 的 压 电 性 能 , 其 压 电 常 数 d 3 3 为 6 2 0 p C / N , 居 里 温 度 约 为 4 0 5 ℃ , 且 具 有 良 好 的 温 度 稳 定 性 。 T C S A W S i O 2 温 补 层 性 能 研 究 贺 贞 ， 李 燕 ， 田 本 朗 ， 马 晋 毅 ， 肖 强 ， 梁 柳 洪 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 8 8 9 1 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 1 4 [ 摘 要 ] ( 1 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 3 6 M K B ] ( 2 7 ) A b s t r a c t : 为 制 备 高 性 能 的 T C S A W S i O 2 温 补 层 , 分 别 采 用 电 子 束 蒸 发 镀 膜 和 反 应 磁 控 溅 射 制 备 S i O 2 薄 膜 , 研 究 两 种 制 备 工 艺 对 S i O 2 薄 膜 致 密 性 、 表 面 粗 糙 度 及 弹 性 模 量 的 影 响 。 采 用 扫 描 电 子 显 微 镜 、 原 子 力 显 微 镜 、 X 线 衍 射 仪 对 S i O 2 薄 膜 的 形 貌 和 晶 体 结 构 进 行 分 析 。 采 用 椭 偏 仪 测 试 薄 膜 折 射 率 及 腐 蚀 后 的 膜 厚 变 化 量 , 并 通 过 纳 米 压 痕 仪 测 量 计 算 薄 膜 的 硬 度 和 弹 性 模 量 。 结 果 表 明 , 反 应 磁 控 溅 射 制 备 的 S i O 2 薄 膜 更 致 密 、 薄 膜 表 面 粗 糙 度 更 小 、 弹 性 模 量 更 大 。 采 用 反 应 磁 控 溅 射 制 备 的 S i O 2 薄 膜 作 为 T C S A W 温 补 层 , 可 以 获 得 频 率 温 度 系 数 为 8 . 6 × 1 0 6 / ℃ 的 T C S A W 器 件 。 S A W 芯 片 的 质 量 控 制 与 可 靠 性 测 试 方 法 的 研 究 艾 毅 智 ， 杨 怡 ， 陈 虹 羽 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 9 2 9 7 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 1 5 [ 摘 要 ] ( 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 0 6 M K B ] ( 2 3 ) A b s t r a c t : 随 着 通 信 设 备 向 便 携 化 、 轻 薄 化 发 展 , 对 S A W 芯 片 的 小 体 积 、 高 性 能 需 求 逐 渐 增 加 , 为 确 保 产 品 交 付 质 量 , 需 要 在 芯 片 研 发 、 生 产 过 程 中 开 展 有 效 的 质 量 控 制 和 可 靠 性 测 试 。 通 过 对 S A W 芯 片 故 障 模 式 及 影 响 的 分 析 , 找 出 了 设 计 和 生 产 过 程 存 在 的 风 险 点 , 制 定 质 量 控 制 措 施 并 研 究 可 靠 性 测 试 方 法 , 提 升 了 芯 片 合 格 率 , 进 而 验 证 了 质 量 控 制 措 施 和 可 靠 性 测 试 方 法 的 有 效 性 , 在 业 内 具 有 一 定 的 借 鉴 意 义 。 基 于 热 传 导 的 高 鲁 棒 性 温 压 一 体 柔 性 传 感 器 敏 感 机 理 的 研 究 张 永 豪 ， 朴 林 华 ， 孙 嘉 浩 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 9 8 1 0 3 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 1 6 [ 摘 要 ] ( 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 6 2 M K B ] ( 2 3 ) A b s t r a c t : 该 文 提 出 了 一 种 基 于 热 传 导 的 高 鲁 棒 性 温 压 一 体 柔 性 传 感 器 结 构 , 并 研 究 了 其 敏 感 机 理 。 通 过 C O M S O L 建 立 三 维 模 型 结 构 , 计 算 了 敏 感 结 构 内 的 温 度 场 。 计 算 结 果 表 明 , 基 于 热 传 导 的 高 鲁 棒 性 温 压 一 体 柔 性 传 感 器 的 输 入 压 强 与 输 出 电 压 成 反 比 例 关 系 , 当 压 强 为 0 ~ 5 0 0 k P a 时 , 传 感 器 灵 敏 度 为 0 . 2 0 5 m V / k P a , 非 线 性 度 为 6 . 1 6 1 % ; 当 压 强 为 5 2 5 ~ 7 4 0 k P a 时 , 传 感 器 灵 敏 度 为 4 . 9 3 7 m V / k P a , 非 线 性 度 为 9 . 6 2 8 % 。 掺 铈 钆 镓 铝 石 榴 石 闪 烁 晶 体 辐 照 效 应 研 究 韩 恒 利 ， 王 强 ， 万 前 银 ， 屈 菁 菁 ， 安 康 ， 陈 研 ， 肖 雄 ， 任 科 静 ， 丁 雨 憧 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 0 4 1 0 7 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 1 7 [ 摘 要 ] ( 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 2 M K B ] ( 2 3 ) A b s t r a c t : 使 用 6 0 C o 放 射 源 对 掺 铈 钆 镓 铝 石 榴 石 ( C e : G A G G ) 闪 烁 晶 体 样 品 进 行 辐 照 , 剂 量 率 为 3 × 1 0 5 R a d / h , 辐 照 总 剂 量 分 别 为 1 0 6 R a d 、 1 0 7 R a d 和 1 0 8 R a d 。 通 过 测 试 辐 照 前 后 C e : G A G G 闪 烁 晶 体 样 品 的 透 过 率 、 相 对 光 输 出 、 能 量 分 辨 率 及 衰 减 时 间 来 研 究 辐 照 效 应 。 实 验 结 果 表 明 , 经 过 1 0 8 R a d 辐 照 , 晶 体 的 透 过 率 在 4 5 0 ~ 9 0 0 n m 波 段 无 明 显 变 化 , 在 3 2 0 n m 处 降 幅 最 大 ( 为 8 . 9 % ) ; 晶 体 的 光 输 出 降 低 了 1 . 4 7 % , 能 量 分 辨 率 略 有 下 降 ; 晶 体 的 相 对 光 输 出 、 能 量 分 辨 率 及 衰 减 时 间 等 性 能 未 发 生 明 显 改 变 。 验 证 了 该 晶 体 具 有 良 好 的 抗 γ 辐 照 能 力 , 在 高 剂 量 核 辐 射 探 测 领 域 中 具 有 广 阔 的 应 用 前 景 。 一 种 射 频 S i P 模 组 链 路 快 速 验 证 方 法 研 究 崔 梦 琦 ， 余 怀 强 ， 张 磊 ， 王 玺 ， 代 春 玥 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 0 8 1 1 2 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 1 8 [ 摘 要 ] ( 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 2 2 M K B ] ( 2 0 ) A b s t r a c t : 针 对 射 频 S i P 模 组 设 计 周 期 长 、 成 本 高 、 兼 容 性 差 等 问 题 , 提 出 了 一 种 射 频 S i P 模 组 链 路 快 速 验 证 方 法 。 该 方 法 将 射 频 S i P 模 组 内 的 射 频 器 件 分 装 于 不 同 积 木 块 中 , 再 将 积 木 块 拼 接 形 成 有 目 标 电 路 功 能 的 验 证 链 路 。 通 过 对 该 链 路 进 行 测 试 , 可 快 速 验 证 射 频 S i P 模 组 设 计 是 否 达 标 。 为 实 现 积 木 块 间 良 好 互 连 , 设 计 了 高 频 连 接 桥 压 接 结 构 。 测 试 结 果 经 去 嵌 计 算 , 得 到 1 8 G H z 内 插 入 损 耗 最 大 值 为 1 . 3 4 d B 。 通 过 搭 建 与 测 试 二 次 变 频 射 频 S i P 模 组 链 路 , 表 明 该 方 法 具 备 低 损 耗 、 可 重 构 、 可 复 用 等 特 性 , 对 射 频 S i P 模 组 快 速 设 计 具 有 重 要 的 工 程 意 义 。 P M U T 集 成 H e l m h o l t z 谐 振 腔 对 测 距 性 能 产 生 的 影 响 分 析 刘 浩 杰 ， 塔 桂 峰 ， 姚 术 涛 ， 李 加 东 ， 苗 斌 ， 商 文 玲 ， 冯 昌 坤 ， 陶 金 燕 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 1 3 1 2 0 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 1 9 [ 摘 要 ] ( 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 5 4 M K B ] ( 2 2 ) A b s t r a c t : 压 电 微 机 械 超 声 换 能 器 ( P M U T ) 是 超 声 测 距 领 域 的 重 要 传 感 器 件 , 增 强 P M U T 的 测 距 性 能 对 促 进 工 程 化 应 用 具 有 重 要 意 义 。 基 于 H e l m h o l t z 谐 振 腔 体 的 吸 声 和 扩 声 特 性 , 设 计 了 吸 收 P M U T 背 部 声 波 的 腔 体 结 构 及 正 向 扩 声 的 喇 叭 口 结 构 。 实 验 结 果 表 明 , 在 2 m 距 离 处 , 集 成 H e l m h o l t z 谐 振 腔 体 的 P M U T 在 超 声 信 号 幅 值 上 有 显 著 提 升 , 达 到 3 2 1 . 1 3 m V , 相 较 于 常 规 贴 片 薄 膜 下 的 腔 体 结 构 , 信 号 幅 度 增 加 了 9 0 . 5 m V , 增 幅 为 3 9 . 2 % 。 此 外 , 配 备 H e l m h o l t z 共 振 特 性 喇 叭 口 的 P M U T 在 同 一 距 离 上 的 信 号 幅 值 测 量 结 果 为 5 4 0 . 7 2 m V , 相 较 于 未 配 置 喇 叭 口 的 P M U T , 信 号 幅 值 增 加 了 1 6 2 . 4 1 m V , 增 幅 达 到 4 2 . 9 % 。 上 述 结 果 表 明 , 将 P M U T 与 H e l m h o l t z 谐 振 腔 体 的 声 学 特 性 相 结 合 , 对 于 提 升 P M U T 在 超 声 测 距 领 域 的 应 用 具 有 重 要 意 义 。 多 层 P Z T 陶 瓷 自 热 温 度 影 响 因 素 分 析 宜 亚 丽 ， 旷 庆 文 ， 陈 美 宇 ， 秦 越 ， 韩 雪 艳 ， 褚 祥 诚 ， 金 贺 荣 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 2 1 1 2 8 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 2 0 [ 摘 要 ] ( 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 9 2 M K B ] ( 2 1 ) A b s t r a c t : 多 层 P Z T 陶 瓷 作 为 压 电 驱 动 器 的 核 心 组 件 , 其 压 电 性 能 受 自 热 温 度 影 响 , 在 高 交 变 电 压 作 用 下 易 发 生 失 效 。 该 文 从 交 变 电 压 特 性 、 陶 瓷 多 层 结 构 角 度 对 P Z T 陶 瓷 自 热 温 度 作 用 规 律 展 开 研 究 。 首 先 基 于 扫 描 电 镜 下 陶 瓷 断 面 结 构 形 貌 , 建 立 了 多 层 P Z T 陶 瓷 细 观 结 构 仿 真 模 型 ; 然 后 搭 建 了 温 度 测 量 实 验 平 台 , 开 展 陶 瓷 表 面 自 热 温 度 测 量 实 验 进 行 验 证 ; 最 后 分 析 了 交 变 电 压 幅 值 、 频 率 特 性 和 陶 瓷 压 电 层 、 死 层 厚 度 对 陶 瓷 表 面 自 热 温 度 的 作 用 机 理 。 结 果 表 明 , 陶 瓷 表 面 自 热 温 度 与 交 变 电 压 幅 值 、 频 率 呈 近 似 线 性 增 长 ; 自 热 温 度 极 值 分 布 在 陶 瓷 表 面 中 心 区 域 和 边 缘 区 域 , 温 度 差 值 小 于 3 ℃ ; 压 电 层 越 厚 , 陶 瓷 表 面 自 热 温 度 越 低 ; 表 面 自 热 温 度 随 死 层 厚 度 的 增 加 呈 先 降 后 增 趋 势 , 且 在 死 层 厚 度 约 3 0 0 μ m 时 达 到 最 低 值 。 该 结 论 为 多 层 P Z T 陶 瓷 自 热 温 度 调 控 与 工 程 应 用 提 供 了 理 论 依 据 和 实 验 基 础 。 压 电 叠 堆 致 动 器 在 大 刚 度 负 载 下 位 移 损 失 因 素 分 析 张 段 芹 ， 杨 闻 涛 ， 张 敬 航 ， 陈 瑶 瑶 ， 刘 旭 玲 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 2 9 1 3 4 , D O I : I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 2 1 [ 摘 要 ] ( 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 3 M K B ] ( 1 7 ) A b s t r a c t : 通 过 测 量 大 刚 度 负 载 下 压 电 叠 堆 微 动 台 的 位 移 输 出 特 性 , 表 明 其 输 出 位 移 明 显 小 于 商 用 压 电 叠 堆 说 明 书 中 的 预 期 值 , 且 随 着 压 电 叠 堆 上 预 压 力 的 增 大 , 其 输 出 位 移 先 增 大 后 减 小 。 经 分 析 发 现 , 在 大 刚 度 负 载 、 低 预 压 力 下 , 压 电 叠 堆 与 负 载 之 间 的 机 械 接 触 刚 度 与 叠 堆 刚 度 在 同 一 数 量 级 , 驱 动 端 有 效 刚 度 的 减 小 将 导 致 输 出 位 移 损 失 ; 随 着 预 压 力 的 增 大 , 压 电 叠 堆 内 非 1 8 0 ° 畴 重 定 向 增 强 了 压 电 效 应 , 且 机 械 接 触 刚 度 增 大 直 至 极 限 值 。 但 叠 堆 的 压 电 系 数 在 压 力 过 大 时 会 因 退 极 化 而 降 低 , 故 微 动 台 总 体 上 将 有 较 大 的 位 移 损 失 , 且 在 接 触 刚 度 和 退 极 化 两 种 因 素 作 用 下 , 位 移 在 某 预 压 力 时 达 到 极 值 。 基 于 压 电 驱 动 的 六 自 由 度 并 联 平 台 运 动 学 分 析 祝 保 财 ， 刘 曰 涛 ， 于 智 勇 ， 温 尚 林 ， 邹 大 林 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 3 5 1 4 1 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 2 2 [ 摘 要 ] ( 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 1 8 M K B ] ( 1 6 ) A b s t r a c t : 提 出 了 一 种 基 于 压 电 驱 动 的 新 型 六 自 由 度 并 联 平 台 , 针 对 该 并 联 平 台 的 机 械 结 构 分 析 其 运 动 学 问 题 , 并 利 用 修 正 的 G r ü b l e r K u t z b a c h 公 式 验 证 其 自 由 度 。 根 据 平 台 的 结 构 及 运 动 特 点 , 利 用 坐 标 矩 阵 齐 次 变 化 方 法 推 导 出 平 台 的 运 动 学 解 析 模 型 。 利 用 该 模 型 计 算 出 具 体 运 动 结 果 , 并 与 A d a m s 软 件 仿 真 分 析 结 果 进 行 对 比 , 验 证 了 运 动 学 模 型 的 正 确 性 , 为 同 类 压 电 并 联 平 台 的 机 构 构 型 以 及 后 续 实 际 应 用 提 供 了 理 论 基 础 。 基 于 J A 模 型 的 压 电 双 晶 片 执 行 器 非 线 性 建 模 及 验 证 彭 洪 涛 ， 凌 杰 ， 李 成 刚 ， 朱 玉 川 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 4 2 1 4 7 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 2 3 [ 摘 要 ] ( 5 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 9 M K B ] ( 2 0 ) A b s t r a c t : 针 对 压 电 双 晶 片 执 行 器 的 非 线 性 建 模 问 题 , 根 据 H a m m e r s t e i n 结 构 原 理 , 将 执 行 器 系 统 线 性 动 态 模 块 与 非 线 性 静 态 模 块 串 联 , 提 出 了 基 于 J i l e s A t h e r t o n 模 型 的 压 电 双 晶 片 建 模 及 参 数 辨 识 方 法 , 并 结 合 有 限 元 数 值 仿 真 和 试 验 测 试 对 比 分 析 模 型 的 准 确 性 。 静 / 动 态 对 比 结 果 显 示 , 理 论 模 型 、 有 限 元 仿 真 及 试 验 测 试 迟 滞 非 线 性 分 别 为 1 8 . 1 % , 1 7 . 9 % , 1 9 . 3 % , 理 论 模 型 、 有 限 元 仿 真 与 试 验 测 试 的 阶 跃 响 应 相 对 误 差 平 均 值 分 别 为 5 . 2 % 和 4 . 1 % , 表 明 建 模 方 法 准 确 有 效 。 融 合 兰 姆 波 损 伤 指 数 的 碳 纤 维 板 分 层 缺 陷 成 像 方 法 巫 轶 伦 ， 冯 搏 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 4 8 1 5 6 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 2 4 [ 摘 要 ] ( 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 4 . 3 4 M K B ] ( 1 6 ) A b s t r a c t : 兰 姆 ( L a m b ) 波 在 结 构 健 康 监 测 中 具 有 潜 在 的 应 用 价 值 , 但 有 关 分 层 损 伤 的 研 究 大 多 局 限 于 分 层 定 位 和 精 度 提 高 , 对 分 层 尺 寸 测 量 的 研 究 较 少 。 研 究 了 碳 纤 维 复 合 材 料 板 中 分 层 缺 陷 尺 寸 对 不 同 波 长 L a m b 波 的 影 响 。 通 过 有 限 元 模 拟 研 究 了 线 性 调 频 L a m b 波 A 0 模 态 与 不 同 分 层 尺 寸 之 间 的 相 互 作 用 , 发 现 当 波 长 大 于 分 层 尺 寸 时 , 扰 动 程 度 随 分 层 尺 寸 的 增 大 而 单 调 增 大 , 当 波 长 小 于 分 层 尺 寸 时 , 扰 动 程 度 呈 振 荡 状 态 的 现 象 。 借 助 该 现 象 提 出 一 种 碳 纤 维 板 分 层 缺 陷 的 检 测 方 法 , 选 用 波 长 较 大 的 信 号 作 为 激 励 , 利 用 损 伤 指 数 刻 画 扰 动 程 度 , 将 损 伤 指 数 融 入 成 像 算 法 中 , 使 成 像 结 果 能 反 映 分 层 尺 寸 信 息 。 基 于 G R U N N 预 测 模 型 的 压 电 作 动 器 M P C K A N 控 制 方 法 郭 辰 星 ， 李 自 成 ， 徐 瑞 瑞 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 5 7 1 6 2 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 2 5 [ 摘 要 ] ( 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 9 5 M K B ] ( 1 6 ) A b s t r a c t : 为 了 提 高 压 电 作 动 器 ( P E A s ) 的 轨 迹 跟 踪 性 能 , 提 出 了 一 种 基 于 门 控 递 归 单 元 ( G R U ) 神 经 网 络 ( N N ) 预 测 模 型 的 K o l m o g o r o v A r n o l d 网 络 前 馈 模 型 预 测 控 制 ( M P C K A N ) 。 与 神 经 网 络 逆 模 型 控 制 不 同 , 该 方 法 使 用 G R U N N 正 向 建 模 , 并 根 据 模 型 预 测 结 果 调 整 模 型 预 测 控 制 ( M P C ) 的 输 出 。 首 先 , 根 据 线 性 化 模 型 选 择 G R U N N 的 训 练 输 入 特 征 , 并 训 练 该 网 络 。 然 后 , 为 了 提 高 优 化 效 果 和 缩 短 优 化 时 间 , 将 麻 雀 搜 索 算 法 ( S S A ) 用 作 M P C 优 化 器 , 并 建 立 K o l m o g o r o v A r n o l d 网 络 ( K A N ) 以 替 代 S S A 优 化 。 该 方 法 的 有 效 性 在 P E A s 平 台 上 得 到 验 证 , 与 传 统 方 法 相 比 , 控 制 精 度 提 高 了 约 3 0 % 。 基 于 差 分 测 距 的 高 精 度 U W B 定 位 算 法 罗 忠 渝 ， 汤 杰 友 ， 赵 忠 华 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 6 3 1 7 1 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 2 6 [ 摘 要 ] ( 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 8 1 M K B ] ( 1 7 ) A b s t r a c t : 针 对 室 内 环 境 存 在 多 种 误 差 , 导 致 超 宽 带 ( U W B ) 定 位 精 度 受 限 、 稳 定 性 较 弱 的 问 题 , 提 出 了 基 于 差 分 测 距 的 扩 展 卡 尔 曼 滤 波 算 法 ( D R E K F ) 。 该 算 法 对 U W B 定 位 系 统 的 通 信 协 议 进 行 了 改 进 , 通 过 引 入 差 分 测 距 , 在 每 次 定 位 时 对 各 基 站 的 误 差 模 型 进 行 更 新 , 实 时 校 正 测 距 误 差 , 并 通 过 改 进 的 扩 展 卡 尔 曼 滤 波 算 法 对 标 签 进 行 定 位 , 提 升 定 位 精 度 和 稳 定 性 。 实 验 结 果 表 明 , D R E K F 算 法 在 视 距 情 况 下 的 水 平 定 位 精 度 达 到 了 3 c m , 在 非 视 距 情 况 下 水 平 定 位 精 度 也 在 4 c m 以 内 , 定 位 精 度 和 稳 定 性 相 较 于 传 统 的 定 位 算 法 都 有 了 大 幅 提 升 , 能 够 满 足 高 精 度 室 内 定 位 的 需 求 。 面 向 无 人 机 载 微 惯 导 的 一 种 改 进 自 适 应 传 递 对 准 算 法 程 耀 强 ， 杨 鹏 翔 ， 孙 铭 垚 ， 赵 志 远 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 7 2 1 8 0 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 2 7 [ 摘 要 ] ( 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 6 8 M K B ] ( 1 7 ) A b s t r a c t : 传 递 对 准 是 微 惯 导 应 用 于 精 确 制 导 武 器 的 关 键 技 术 , 关 系 着 机 载 武 器 系 统 的 作 战 效 能 。 该 文 研 究 了 微 惯 导 在 腾 盾 无 人 机 上 挂 飞 的 传 递 对 准 方 案 。 首 先 基 于 “ 速 度 + 姿 态 ” 匹 配 传 递 对 准 方 案 , 提 出 了 一 种 改 进 自 适 应 K a l m a n 滤 波 方 法 , 将 杆 臂 效 应 和 数 据 延 时 分 别 进 行 在 线 补 偿 和 实 时 估 计 。 然 后 基 于 腾 盾 无 人 机 平 台 进 行 算 法 挂 飞 验 证 , 与 经 典 K a l m a n 滤 波 方 法 相 比 , 改 进 算 法 可 有 效 提 升 传 递 对 准 的 性 能 , 满 足 航 向 角 对 准 精 度 为 0 . 6 5 ° ( 1 σ ) 的 要 求 。 同 时 重 点 分 析 了 在 无 人 机 S 形 转 弯 机 动 辅 助 摇 翼 传 递 对 准 模 式 下 , 航 向 失 准 角 估 计 精 度 下 降 的 原 因 。 最 后 对 微 惯 导 传 递 对 准 方 法 和 性 能 进 行 综 合 分 析 和 评 判 , 并 给 出 适 合 实 战 的 实 用 方 案 。 M C P S S H I 接 口 电 路 实 现 多 通 道 宽 频 压 电 能 量 的 高 效 提 取 李 继 祯 ， 胡 宁 ， 吉 振 峰 ， 张 诗 琪 ， 赵 晨 曦 ， 周 美 彤 ， 吴 良 科 ， 牟 笑 静 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 8 1 1 8 9 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 2 8 [ 摘 要 ] ( 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 4 . 7 3 M K B ] ( 2 0 ) A b s t r a c t : 随 着 物 联 网 和 智 能 系 统 的 快 速 发 展 , 对 传 感 器 网 络 中 能 量 采 集 技 术 的 需 求 不 断 增 加 。 针 对 多 通 道 宽 频 压 电 能 量 信 号 特 征 差 异 大 、 能 量 提 取 效 率 低 的 问 题 , 提 出 了 一 种 适 用 于 弱 耦 合 环 境 的 多 通 道 并 联 同 步 开 关 电 感 ( M C P S S H I ) 接 口 电 路 。 该 电 路 保 持 了 高 模 块 的 拓 展 性 和 结 构 的 简 洁 性 , 同 时 还 具 备 处 理 任 意 相 位 关 系 ( 0 ~ 2 π ) 多 通 道 输 入 电 压 的 能 力 。 测 试 结 果 表 明 , 在 处 理 六 路 压 电 能 量 收 集 器 ( P E H ) 信 号 时 , M C P S S H I 电 路 可 高 效 提 取 多 通 道 电 能 , 其 能 量 提 取 效 率 高 达 7 9 . 9 6 % , 是 传 统 接 口 电 路 功 率 增 益 的 3 . 2 4 倍 。 基 于 C S P V P K 3 0 复 合 物 薄 膜 基 的 Q C M 湿 度 传 感 器 王 艳 ， 陶 金 ， 罗 健 ， 陈 思 毅 ， 彭 宏 ， 王 云 霄 ， 尹 泽 宇 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 9 0 1 9 5 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 2 9 [ 摘 要 ] ( 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 3 4 M K B ] ( 1 8 ) A b s t r a c t : 石 英 晶 体 微 天 平 ( Q C M ) 作 为 纳 克 级 精 度 传 感 器 , 通 过 在 敏 感 区 添 加 湿 敏 材 料 , 能 够 在 气 相 条 件 下 高 精 度 检 测 湿 度 , 具 有 检 测 范 围 广 、 成 本 低 和 制 作 简 单 的 优 点 。 为 提 升 湿 敏 材 料 的 性 能 , 扩 展 基 于 Q C M 的 湿 度 传 感 器 的 应 用 , 构 建 了 基 于 壳 聚 糖 ( C S ) 基 底 , 聚 乙 烯 吡 咯 烷 酮 ( P V P ) 成 膜 机 理 的 复 合 物 薄 膜 基 的 Q C M 湿 度 传 感 器 。 实 验 证 明 该 传 感 器 响 应 、 恢 复 时 间 分 别 为 1 3 s 、 1 4 s , 在 相 对 湿 度 1 1 % ~ 9 7 % 检 测 范 围 内 的 灵 敏 度 达 到 5 7 . 8 4 H z / % R H , 在 3 0 天 稳 定 性 重 复 实 验 中 最 大 频 率 波 动 小 于 1 0 H z 。 基 于 脉 冲 细 分 的 多 参 量 分 布 式 光 纤 传 感 系 孙 抗 ， 赵 雯 婧 ， 赵 来 军 2 0 2 5 , 4 7 ( 1 ) : 1 9 6 2 0 2 , D O I : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 5 . 0 1 . 0 3 0 [ 摘 要 ] ( 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 8 6 M K B ] ( 1 4 ) A b s t r a c t : 现 有 的 分 布 式 光 纤 传 感 系 统 通 常 只 针 对 单 一 参 量 , 当 实 际 运 行 于 复 杂 环 境 时 , 需 要 多 种 传 感 系 统 与 技 术 集 成 以 监 测 多 个 参 量 。 利 用 相 敏 光 学 时 域 反 射 仪 ( φ O T D R ) 和 布 里 渊 光 学 时 域 反 射 仪 ( B O T D R ) 对 不 同 物 理 参 量 敏 感 的 特 性 , 设 计 了 一 种 集 成 的 分 布 式 光 纤 传 感 系 统 , 并 基 于 瑞 利 散 射 与 布 里 渊 散 射 信 号 同 时 传 感 分 离 检 测 , 在 单 根 传 感 光 纤 上 实 现 同 一 调 制 脉 冲 下 的 振 动 、 温 度 、 应 变 多 参 量 监 测 。 为 了 在 维 持 集 成 系 统 脉 冲 的 同 一 调 制 下 提 升 B O T D R 空 间 分 辨 率 , 采 用 脉 冲 细 分 叠 加 原 理 分 析 布 里 渊 散 射 信 号 , 在 不 改 变 脉 冲 宽 度 的 基 础 上 突 破 声 子 寿 命 限 制 , 提 升 空 间 分 辨 率 。 经 实 验 验 证 系 统 表 明 , 在 5 0 k m 传 感 距 离 下 , 基 于 瑞 利 散 射 以 1 0 m 空 间 分 辨 率 可 实 现 振 动 定 位 , 基 于 布 里 渊 散 射 引 入 脉 冲 细 分 叠 加 可 将 空 间 分 辨 率 提 升 至 1 m 检 测 温 度 与 应 变 , 且 布 里 渊 频 移 量 与 温 度 、 应 变 变 化 具 有 较 高 的 线 性 拟 合 度 , 实 现 了 多 参 量 监 测 。 文 章 快 速 检 索 全 选 反 选 导 出 “ 已 录 用 ” 栏 目 展 示 本 刊 经 同 行 评 议 确 定 正 式 录 用 的 文 章 ， 这 些 文 章 目 前 处 在 编 校 过 程 ， 尚 未 确 定 卷 期 及 页 码 ， 但 可 以 根 据 D O I 进 行 引 用 。 出 版 专 辑 更 多 + 虚 拟 专 刊 M o r e 文 章 快 速 检 索 全 选 反 选 导 出 压 电 超 声 换 能 器 阻 抗 特 性 分 析 与 匹 配 设 计 王 玉 江 2 , 王 志 斌 1 , 2 , 3 , 宋 雁 鹏 2 , 解 琨 阳 2 , 赵 同 林 2 2 0 1 6 , 3 8 ( 4 ) : 6 3 3 6 3 8 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 1 6 . 0 4 . 0 2 8 [ 摘 要 ： ] ( 2 8 8 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 8 M K B ] ( 5 9 2 8 ) A b s t r a c t : 压 电 超 声 换 能 器 在 不 同 的 工 作 频 率 下 具 有 不 同 的 输 入 阻 抗 ， 当 驱 动 信 号 源 输 出 阻 抗 与 换 能 器 输 入 阻 抗 失 配 时 会 产 生 能 量 损 耗 ， 导 致 无 法 满 足 换 能 器 的 功 率 要 求 ， 从 而 使 其 光 谱 衍 射 效 率 降 低 ， 影 响 光 谱 成 像 质 量 。 为 此 对 换 能 器 阻 抗 频 率 特 性 的 深 入 研 究 ， 设 计 了 一 种 新 型 宽 带 阻 抗 匹 配 网 络 。 通 过 A D S 仿 真 及 匹 配 电 路 的 测 试 ， 最 终 在 1 1 5 ～ 1 8 0 M H z 超 声 波 频 率 内 可 使 换 能 器 的 光 谱 衍 射 效 率 最 高 达 7 0 ％ 。 基 于 C O M S O L M u l t i p h y s i c s 超 声 波 电 机 的 谐 振 特 性 分 析 吕 琼 莹 , 杨 艳 , 焦 海 坤 , 张 志 杰 2 0 1 2 , 3 4 ( 6 ) : 8 6 4 8 6 7 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 1 2 . 0 6 . 0 1 5 [ 摘 要 ： ] ( 3 3 0 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 6 0 M K B ] ( 5 5 2 4 ) A b s t r a c t : 基 于 C O M S O L M u l t i p h y s i c s 对 超 声 波 电 机 压 电 振 子 谐 振 特 性 进 行 了 理 论 分 析 ， 建 立 了 超 声 波 电 机 压 电 振 子 的 实 体 模 型 ， 仿 真 计 算 出 了 压 电 振 子 的 谐 振 频 率 ， 确 定 超 声 波 电 动 机 的 最 佳 工 作 频 段 ， 提 出 了 电 机 与 驱 动 电 路 匹 配 方 法 。 试 验 结 果 表 明 ： 当 对 压 电 振 子 施 加 幅 值 为 1 0 0 V 的 激 励 电 压 后 ， 软 件 分 析 和 数 学 计 算 基 本 一 致 ， 可 见 仿 真 分 析 方 法 的 可 行 性 ， 为 研 究 超 声 波 电 机 谐 振 特 性 提 供 了 一 种 简 便 的 计 算 方 法 。 高 频 医 用 超 声 换 能 器 材 料 声 匹 配 特 性 研 究 刘 鹏 波 1 , 2 , 3 , 简 小 华 1 , 韩 志 乐 1 , 李 章 剑 1 , 崔 崤 峣 1 2 0 1 6 , 3 8 ( 3 ) : 4 5 0 4 5 3 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 1 6 . 0 3 . 0 2 6 [ 摘 要 ： ] ( 2 1 5 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 6 7 M K B ] ( 5 2 8 9 ) A b s t r a c t : 医 学 超 声 成 像 的 图 像 质 量 很 大 程 度 取 决 于 超 声 换 能 器 的 特 性 。 在 换 能 器 研 制 过 程 中 ， 一 项 重 要 的 任 务 是 确 定 合 适 的 匹 配 层 材 料 及 参 数 。 为 了 满 足 高 频 超 声 换 能 器 研 制 的 需 要 ， 该 文 从 理 论 及 实 验 两 方 面 研 究 了 R T V 6 1 5 硅 橡 胶 掺 杂 不 同 比 例 的 氧 化 铝 粉 末 后 ， 所 形 成 的 复 合 材 料 的 高 频 ( 2 0 M H z ) 声 学 特 性 参 数 ， 包 括 声 速 、 声 阻 抗 、 声 衰 减 系 数 等 。 结 果 表 明 ， R T V 6 1 5 硅 橡 胶 中 掺 杂 氧 化 铝 的 体 积 分 数 为 7 . 9 3 % 时 ， 所 形 成 的 复 合 材 料 在  2 0 M H z  频 率 条 件 下 声 阻 抗 值 提 高 5 2 . 9 4 % ， 达 到 1 . 5 6 × 1 0   6  P a · s / m ， 具 有 最 佳 的 声 阻 抗 匹 配 特 性 。 因 此 ， 通 过 优 化 掺 杂 比 例 可 有 效 改 进 硅 橡 胶 材 料 的 高 频 声 学 性 能 。 压 电 微 机 械 超 声 换 能 器 仿 真 与 结 构 优 化 余 卿 ， 遆 金 铭 ， 樊 青 青 ， 李 俊 红 2 0 2 2 , 4 4 ( 3 ) : 4 0 3 4 0 6 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 2 . 0 3 . 0 1 4 [ 摘 要 ： ] ( 6 3 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 2 4 M K B ] ( 5 0 3 1 ) A b s t r a c t : 压 电 微 机 械 超 声 换 能 器 ( P M U T ) 在 医 疗 阵 列 成 像 、 手 势 识 别 、 内 窥 成 像 、 指 纹 识 别 等 领 域 有 着 重 要 的 应 用 , 而 灵 敏 度 等 性 能 是 影 响 其 成 像 质 量 的 主 要 因 素 。 该 文 对 基 于 P M N P T 圆 形 压 电 复 合 振 动 膜 的 压 电 微 机 械 超 声 换 能 器 等 效 电 路 模 型 进 行 分 析 , 并 通 过 有 限 元 法 研 究 了 压 电 层 P M N P T 厚 度 对 P M U T 的 发 射 电 压 响 应 、 接 收 灵 敏 度 的 影 响 。 仿 真 结 果 表 明 , 当 压 电 层 厚 度 为 4 . 5 μ m ( 厚 度 为 基 底 厚 度 的 9 0 % ) 时 , 换 能 器 的 发 射 电 压 响 应 级 最 大 , 达 到 1 9 1 . 6 d B , 接 收 灵 敏 度 级 随 厚 度 的 增 加 基 本 呈 线 性 上 升 趋 势 ; 当 压 电 层 厚 度 为 5 . 1 μ m ( 厚 度 为 基 底 厚 度 的 1 0 2 % ) 时 , 回 路 增 益 ( 损 耗 ) 最 大 , 达 到 6 4 . 5 0 d B 。 C 波 段 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 设 计 与 制 备 吴 高 米 ， 马 晋 毅 ， 李 尚 志 ， 司 美 菊 ， 唐 小 龙 ， 蒋 世 义 ， 江 洪 敏 ， 张 祖 伟 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 2 8 5 2 8 9 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 1 [ 摘 要 ： ] ( 2 8 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 7 4 M K B ] ( 5 0 1 4 ) A b s t r a c t : 针 对 未 来 移 动 通 信 对 射 频 前 端 器 件 提 出 的 多 频 率 、 高 集 成 新 要 求 , 开 展 了 兼 具 声 表 面 波 ( S A W ) 谐 振 器 和 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 ( F B A R ) 技 术 特 点 的 新 型 横 向 激 励 兰 姆 波 谐 振 器 研 究 。 该 文 介 绍 了 基 于 c 轴 择 优 取 向 氮 化 铝 ( A l N ) 压 电 薄 膜 的 C 波 段 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 ( X B A R ) 的 结 构 设 计 、 参 数 优 化 和 制 备 方 法 , 并 进 行 了 工 艺 验 证 。 通 过 剥 离 和 刻 蚀 等 步 骤 制 备 了 谐 振 频 率 4 . 4 6 4 G H z 、 品 质 因 数 3 0 3 9 、 品 质 因 数 与 频 率 之 积 ( f × Q ) 达 到 1 . 5 6 × 1 0 1 3 G H z 、 面 积 小 于 0 . 1 2 m m 2 的 低 杂 波 X B A R 谐 振 器 , 并 仿 真 分 析 了 其 用 于 射 频 滤 波 器 的 可 行 性 。 该 研 究 为 进 一 步 研 制 多 频 率 、 高 集 成 的 小 型 化 X B A R 滤 波 器 组 件 提 供 了 有 效 的 设 计 技 术 和 工 艺 技 术 支 撑 。 基 于 X L i N b O 3 / S i O 2 / S i 低 温 漂 、 大 机 电 耦 合 S H S A W 谐 振 器 的 设 计 温 福 军 ， 王 园 园 ， 钱 莉 荣 ， 王 荔 田 ， 李 翠 平 ， 熊 阳 ， 田 亚 会 ， 李 红 浪 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 2 9 0 2 9 5 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 2 [ 摘 要 ： ] ( 2 0 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 9 9 M K B ] ( 4 9 9 3 ) A b s t r a c t : 铌 酸 锂 ( L N ) 单 晶 薄 膜 具 有 较 高 的 机 电 耦 合 系 数 ( k 2 e f f ＞ 3 0 % ) , 其 水 平 剪 切 ( S H ) 声 学 模 式 常 被 应 用 于 开 发 具 有 大 机 电 耦 合 系 数 的 薄 膜 声 学 谐 振 器 和 超 宽 带 滤 波 器 。 但 L N 的 频 率 温 度 系 数 较 大 ( T C F ＞ 5 0 × 1 0 6 / ℃ ) , 这 不 仅 会 降 低 滤 波 器 的 可 用 有 效 带 宽 , 同 时 也 会 限 制 器 件 的 功 率 处 理 能 力 。 采 用 3 D 周 期 有 限 元 模 型 对 基 于 X 切 L N / S i O 2 / S i 结 构 S H 声 表 面 波 ( S H S A W ) 谐 振 器 进 行 了 优 化 研 究 。 研 究 结 果 表 明 , 当 S H S A W 传 播 角 ψ = 1 0 ° ~ 2 0 ° 、 L N 和 S i O 2 膜 厚 分 别 为 h L N = 0 . 1 λ 和 h S i O 2 = 0 . 2 λ ( λ 为 叉 指 换 能 器 周 期 ) 、 铝 电 极 金 属 化 率 η = 0 . 4 、 电 极 相 对 厚 度 h A l / λ = 5 % ~ 1 0 % 时 , S H S A W 谐 振 器 的 k 2 e f f 约 为 3 0 % , 且 其 T C F ＜ 2 0 × 1 0 6 / ℃ , 有 望 用 于 开 发 新 一 代 的 低 温 漂 、 超 宽 带 5 G S A W 滤 波 器 。 一 种 横 向 耦 合 改 进 型 结 构 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 研 究 张 显 洪 ， 杨 卫 东 ， 肖 强 ， 蒋 道 军 ， 张 晟 ， 施 建 峰 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 0 6 3 0 9 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 5 [ 摘 要 ： ] ( 1 6 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 5 7 M K B ] ( 4 9 3 3 ) A b s t r a c t : 该 文 采 用 波 导 法 分 析 了 横 向 耦 合 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 速 度 变 化 模 式 , 并 用 多 物 理 场 C O M S O L 软 件 对 横 向 耦 合 声 表 面 波 滤 波 器 的 中 心 耦 合 条 结 构 和 耦 合 距 离 的 变 化 建 模 进 行 计 算 , 并 分 析 频 响 特 性 。 采 用 石 英 晶 体 作 为 底 衬 , 设 计 了 频 率 为 8 9 8 . 1 4 4 M H z , 插 入 损 耗 约 为 6 d B 的 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 并 进 行 验 证 。 结 果 表 明 , 中 心 耦 合 条 开 腔 结 构 的 声 表 面 波 滤 波 器 的 相 对 带 宽 达 到 7 . 2 ‰ , 与 不 开 腔 结 构 5 . 2 ‰ 相 对 带 宽 相 比 , 提 升 了 2 ‰ 。 这 说 明 横 向 耦 合 声 表 面 波 滤 波 器 的 中 心 耦 合 条 结 构 变 化 , 能 改 变 极 窄 带 声 表 面 波 滤 波 器 的 相 对 带 宽 。 低 插 损 窄 带 T C S A W 滤 波 器 的 设 计 与 研 制 黄 亮 ， 周 亚 男 ， 王 志 超 ， 何 朝 峰 ， 朱 卫 俊 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 0 0 3 0 5 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 4 [ 摘 要 ： ] ( 1 9 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 6 M K B ] ( 4 9 3 1 ) A b s t r a c t : 为 了 减 小 窄 带 滤 波 器 的 插 入 损 耗 , 在 梯 形 拓 扑 的 基 础 上 引 入 并 联 电 容 , 提 出 了 一 种 并 联 电 容 型 梯 形 拓 扑 。 利 用 并 联 电 容 大 幅 度 改 变 反 谐 振 点 频 率 的 特 点 , 以 牺 牲 较 小 插 入 损 耗 的 代 价 来 缩 小 带 宽 。 通 过 谐 振 器 设 计 与 进 化 算 法 寻 优 , 成 功 研 制 出 一 款 基 于 S i O 2 / C u / 1 2 7 ° Y X L i N b O 3 结 构 的 低 插 损 窄 带 温 补 型 声 表 面 波 ( T C S A W ) 滤 波 器 。 实 验 结 果 表 明 , 滤 波 器 的 中 心 频 率 为 1 5 1 4 M H z , 相 对 带 宽 为 0 . 4 6 % , 带 内 插 入 损 耗 仅 1 . 4 5 d B , 过 渡 带 2 0 M H z 带 外 抑 制 滚 降 到 2 4 d B , 远 带 带 外 抑 制 大 于 3 0 d B , W i F i 频 段 抑 制 高 达 4 8 d B , 频 率 温 度 系 数 T C F 为 2 0 × 1 0 6 / ℃ , 器 件 尺 寸 为 1 . 1 m m × 0 . 9 m m 。 兰 姆 波 型 谐 振 器 的 制 备 与 测 试 邓 言 文 , 彭 斌 , 张 万 里 , 陈 鹏 , 王 睿 , 姜 建 英 2 0 1 6 , 3 8 ( 3 ) : 4 0 1 4 0 4 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 1 6 . 0 3 . 0 1 3 [ 摘 要 ： ] ( 2 3 4 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 4 M K B ] ( 4 9 2 4 ) A b s t r a c t : 采 用 磁 控 溅 射 、 光 刻 、 腐 蚀 、 电 子 束 蒸 发 等 工 艺 ， 在 A l N 薄 膜 表 面 设 计 和 制 备 了 兰 姆 波 ( L a m b ) 型 谐 振 器 。 研 究 了 L a m b 谐 振 器 频 率 特 性 与 频 率 温 度 特 性 ， 并 与 传 统 的 瑞 利 波 ( R a y l e i g h ) 型 谐 振 器 进 行 对 比 。 测 试 结 果 表 明 ， R a y l e i g h 谐 振 器 的 谐 振 频 率 为 3 0 5 . 1 5 M H z ， 温 度 灵 敏 度 为 1 0 . 7 4 k H z / ℃ ； 而 L a m b 谐 振 器 有 7 个 谐 振 频 率 ， 分 别 为 2 9 4 . 6 3 0 M H z ， 3 9 8 . 1 2 5 M H z ， 4 3 5 . 6 2 5 M H z ， 4 8 2 M H z ， 5 3 1 . 6 2 5 M H z ， 5 7 0 M H z 和 6 1 3 . 6 2 5 M H z ， 其 温 度 灵 敏 度 分 别 为 1 0 . 6 3 k H z / ℃ ， 1 3 . 4 6 k H z / ℃ ， 1 6 . 0 9 k H z / ℃ ， 1 7 . 5 1 k H z / ℃ ， 1 8 . 9 5 k H z / ℃ ， 2 0 . 7 6 k H z / ℃ 和 2 1 . 8 6 k H z / ℃ 。 结 果 表 明 ， 兰 姆 波 型 谐 振 器 高 阶 模 式 的 温 度 灵 敏 度 最 高 ， 达 到 2 1 . 8 6 k H z / ℃ 。 一 种 6 信 道 声 光 调 制 器 杨 涛 ， 周 建 国 ， 艾 毅 智 ， 刘 保 见 ， 吴 畏 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 4 3 3 4 6 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 2 [ 摘 要 ： ] ( 1 1 2 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 8 8 5 . 1 4 K K B ] ( 4 9 1 4 ) A b s t r a c t : 介 绍 了 一 种 6 信 道 声 光 调 制 器 。 通 过 在 换 能 器 上 制 备 电 极 阵 列 , 设 计 独 立 的 阻 抗 匹 配 电 路 和 电 输 入 端 口 , 将 6 个 声 光 互 作 用 单 元 集 成 在 一 起 , 实 现 了 对 6 束 激 光 的 并 行 、 独 立 调 制 。 经 测 试 , 该 6 信 道 声 光 调 制 器 工 作 波 长 为 3 5 5 n m , 工 作 频 率 为 2 2 0 M H z , 单 信 道 衍 射 效 率 ＞ 7 5 % , 全 局 串 扰 ＜ 0 . 5 % 。 声 表 面 波 滤 波 器 温 度 敏 感 性 仿 真 研 究 王 吉 芳 ， 郑 露 ， 陈 平 静 ， 潘 虹 芝 ， 杜 雪 松 ， 董 加 和 ， 陆 川 ， 陈 正 林 ， 吴 浩 东 ， 马 晋 毅 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 1 0 3 1 4 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 6 [ 摘 要 ： ] ( 2 1 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 2 4 M K B ] ( 4 9 1 3 ) A b s t r a c t : 针 对 不 同 温 度 场 情 况 下 任 意 复 杂 膜 系 结 构 和 电 路 拓 扑 结 构 的 声 表 面 波 ( S A W ) 滤 波 器 的 温 度 敏 感 性 精 确 计 算 问 题 , 首 先 将 温 度 场 以 热 应 力 、 热 应 变 的 方 式 耦 合 声 / 电 本 征 方 程 并 考 虑 封 装 模 型 的 电 磁 因 素 , 再 结 合 分 层 级 联 算 法 和 全 波 仿 真 技 术 , 计 算 任 意 复 杂 膜 系 结 构 和 电 路 拓 扑 结 构 的 S A W 滤 波 器 的 温 度 敏 感 性 , 实 现 不 同 温 度 作 用 下 S A W 滤 波 器 频 率 响 应 曲 线 、 频 率 温 度 系 数 ( T C F ) 值 、 损 耗 、 带 宽 及 带 外 抑 制 等 性 能 的 综 合 分 析 。 通 过 4 1 ° Y X L i N b O 3 / S i O 2 / S i _ p o l y / S i ( 1 1 1 ) 复 合 衬 底 S A W 滤 波 器 的 优 化 设 计 与 研 制 , 其 设 计 优 化 结 果 与 实 验 结 果 吻 合 较 好 , 验 证 了 该 方 法 的 有 效 性 和 可 行 性 。 基 于 I D T / Z n O / A l N / D i a m o n d 结 构 的 混 合 S A W / B A W 压 力 敏 感 元 件 特 性 研 究 武 庆 鹏 ， 王 地 懋 ， 曾 龙 ， 王 艳 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 2 2 3 2 7 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 8 [ 摘 要 ： ] ( 1 4 1 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 6 0 M K B ] ( 4 9 0 0 ) A b s t r a c t : 利 用 有 限 元 方 法 分 析 了 基 于 I D T / Z n O / A l N / D i a m o n d 不 同 结 构 混 合 S A W / B A W 器 件 的 声 学 特 性 , 包 括 层 状 薄 膜 结 构 、 Z n O 薄 膜 刻 蚀 结 构 和 填 充 结 构 。 结 果 表 明 , 当 h Z n O / λ = 0 . 3 、 h A l N / λ = 0 . 5 , 且 Z n O 被 完 全 刻 蚀 ( d / h Z n O = 1 ) 时 , 刻 蚀 结 构 混 合 S A W / B A W ( 准 西 沙 瓦 波 ) 的 机 电 耦 合 系 数 ( K 2 ) 取 得 最 大 值 6 . 5 4 % , 比 层 状 结 构 ( d / h Z n O = 0 ) 提 升 了 近 一 倍 。 刻 蚀 结 构 中 , S i O 2 和 D i a m o n d 填 充 物 的 引 入 不 仅 提 高 了 准 西 沙 瓦 波 的 K 2 , 而 且 改 善 了 其 压 力 传 感 特 性 。 当 d / h Z n O = 1 时 , S i O 2 和 D i a m o n d 填 充 结 构 准 西 沙 瓦 波 的 压 力 频 移 分 别 为 8 1 . 2 k H z / M P a 和 2 0 7 . 4 k H z / M P a , 比 刻 蚀 结 构 分 别 提 高 了 5 8 . 7 % 和 3 0 0 % ; 同 时 , D i a m o n d 填 充 物 的 引 入 使 准 西 沙 瓦 波 的 频 率 压 力 系 数 ( P C F ) 达 到 最 大 值 2 9 7 × 1 0 6 / M P a , 比 d / h Z n O = 0 时 提 高 了 约 3 0 % 。 由 此 可 知 , 通 过 引 入 不 同 的 填 充 物 可 以 开 发 不 同 的 功 能 传 感 器 , 在 压 力 、 温 度 和 气 敏 等 传 感 领 域 将 具 有 极 大 的 应 用 前 景 。 背 腔 刻 蚀 型 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 制 备 技 术 研 究 徐 阳 ， 司 美 菊 ， 吴 高 米 ， 刘 文 怡 ， 巩 乐 乐 ， 甄 静 怡 ， 余 奇 ， 陈 金 琳 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 2 9 6 2 9 9 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 3 [ 摘 要 ： ] ( 1 6 9 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 7 3 M K B ] ( 4 8 9 6 ) A b s t r a c t : 随 着 移 动 通 信 技 术 的 快 速 发 展 , 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 逐 渐 向 高 频 和 大 带 宽 方 向 发 展 。 该 文 研 究 了 P O I ( L i N b O 3 / S i O 2 / S i ) 基 片 上 背 腔 刻 蚀 型 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 制 作 工 艺 , 通 过 研 究 P O I 基 I D T 光 刻 、 背 腔 硅 刻 蚀 等 工 艺 , 确 定 了 I D T 层 曝 光 量 和 背 腔 刻 蚀 等 关 键 工 艺 参 数 。 研 制 出 的 背 腔 刻 蚀 型 横 向 激 励 薄 膜 体 声 波 谐 振 器 , 其 谐 振 频 率 为 4 5 6 5 M H z , 反 谐 振 频 率 为 5 0 3 5 M H z , 机 电 耦 合 系 数 为 2 0 . 8 6 % 。 此 制 备 工 艺 对 研 究 高 频 、 大 带 宽 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 具 有 重 要 的 参 考 意 义 。 金 锡 键 合 在 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 晶 圆 级 封 装 中 的 研 究 金 中 ， 张 基 钦 ， 吕 峻 豪 ， 阮 文 彪 ， 刘 娅 ， 甑 静 怡 ， 孙 明 宝 ， 孙 彦 红 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 3 9 3 4 2 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 1 [ 摘 要 ： ] ( 1 5 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 1 2 M K B ] ( 4 8 8 6 ) A b s t r a c t : 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 ( F B A R ) 作 为 一 种 无 源 、 体 积 小 和 耐 功 率 高 的 器 件 , 被 广 泛 应 用 于 射 频 信 号 处 理 中 。 晶 圆 级 气 密 封 装 作 为 小 型 化 封 装 的 代 表 , 在 各 种 高 可 靠 性 应 用 场 景 中 占 据 重 要 地 位 。 金 金 键 合 和 金 锡 键 合 被 广 泛 应 用 于 薄 膜 体 声 波 滤 波 器 的 气 密 性 晶 圆 级 封 装 中 , 但 金 锡 键 合 在 工 艺 上 更 易 实 现 。 该 文 针 对 金 锡 键 合 在 气 密 性 晶 圆 级 封 装 中 的 应 用 进 行 了 研 究 , 在 保 证 键 合 强 度 的 情 况 下 制 作 了 3 G H z 滤 波 器 样 品 , 其 性 能 测 试 一 致 性 良 好 , 可 靠 性 达 到 要 求 。 四 方 相 锆 钛 酸 铅 陶 瓷 制 备 及 温 度 稳 定 性 研 究 杨 洋 ， 侯 育 冬 ， 杜 红 亮 ， 张 阿 梅 ， 侯 鸿 平 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 5 1 3 5 5 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 4 [ 摘 要 ： ] ( 1 4 4 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 3 . 3 8 M K B ] ( 4 8 8 0 ) A b s t r a c t : 采 用 传 统 固 相 法 制 备 了 P b ( Z r 1 x T i x ) O 3 陶 瓷 , 通 过 调 节 锆 钛 摩 尔 比 将 其 定 位 于 四 方 区 域 以 改 善 温 度 稳 定 性 , 并 通 过 优 化 烧 结 温 度 改 善 电 学 性 能 。 实 验 结 果 表 明 , 当 x = 0 . 5 2 时 , 体 系 处 于 四 方 区 域 , 此 时 陶 瓷 的 温 度 稳 定 性 有 所 提 升 , 在 室 温 ~ 3 0 0 ℃ 时 , d 3 3 变 化 率 为 ± 1 4 . 7 % 。 在 1 2 5 0 ℃ 下 烧 结 的 P b ( Z r 0 . 4 8 T i 0 . 5 2 ) O 3 陶 瓷 具 有 最 佳 的 电 学 性 能 : 压 电 常 数 d 3 3 = 1 8 3 p C / N , 居 里 温 度 T C = 4 0 2 ℃ , 相 对 介 电 常 数 ε r = 1 2 0 9 。 石 英 湿 法 腐 蚀 及 谐 振 器 制 作 工 艺 研 究 龙 雪 松 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 2 8 3 3 2 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 9 [ 摘 要 ： ] ( 1 3 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 2 . 1 6 M K B ] ( 4 8 5 0 ) A b s t r a c t : 随 着 石 英 谐 振 器 向 小 型 化 、 高 频 化 发 展 , 其 尺 寸 越 来 越 小 , 因 此 , 低 成 本 的 谐 振 器 精 准 制 造 工 艺 尤 为 重 要 。 该 文 对 石 英 晶 片 进 行 腐 蚀 实 验 以 确 定 精 准 制 造 矩 形 谐 振 器 的 最 佳 工 艺 条 件 , 研 究 了 温 度 对 金 属 保 护 层 完 整 性 的 影 响 , 以 及 腐 蚀 时 间 对 石 英 表 面 粗 糙 度 的 影 响 。 腐 蚀 速 率 稳 定 且 适 中 , 有 利 于 谐 振 器 的 精 准 制 造 。 设 计 了 石 英 谐 振 器 工 艺 流 程 , 得 到 质 量 较 好 的 超 薄 矩 形 A T 切 高 频 石 英 谐 振 器 。 分 析 其 尺 寸 误 差 产 生 的 原 因 , 并 总 结 了 一 套 精 度 较 好 的 湿 法 腐 蚀 工 艺 , 有 望 采 用 低 成 本 手 段 使 矩 形 谐 振 器 的 厚 度 小 于 1 0 μ m 。 超 宽 带 单 陷 波 四 元 M I M O 天 线 的 设 计 张 玲 ， 杜 成 珠 ， 胡 鹏 ， 杨 福 慧 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 9 2 3 9 8 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 2 1 [ 摘 要 ： ] ( 1 0 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 5 . 9 6 M K B ] ( 4 8 4 0 ) A b s t r a c t : 该 文 设 计 了 一 款 具 有 单 陷 波 特 性 的 高 隔 离 超 宽 带 ( U W B ) 四 单 元 多 输 入 多 输 出 ( M I M O ) 天 线 。 天 线 的 尺 寸 为 6 5 m m × 6 5 m m × 0 . 8 m m 。 4 个 槽 天 线 单 元 水 平 正 交 放 置 , 采 用 易 加 工 集 成 的 共 面 波 导 ( C P W ) 馈 电 , 引 入 缺 陷 地 及 十 字 隔 离 枝 节 去 耦 。 通 过 在 天 线 辐 射 贴 片 上 刻 蚀 一 个 U 形 槽 , 在 4 . 3 5 ~ 6 . 0 8 G H z 处 产 生 陷 波 , 能 阻 止 W L A N ( 5 . 1 5 ~ 5 . 8 2 5 G H z ) 的 通 信 干 扰 。 经 实 测 , 该 天 线 的 工 作 频 段 为 2 . 4 6 ~ 1 0 . 6 G H z , 隔 离 度 ＜ 2 0 d B , 在 4 . 3 5 ~ 6 . 0 8 G H z 产 生 覆 盖 W L A N 的 阻 带 , 包 络 相 关 系 数 ＜ 0 . 0 2 , 分 集 增 益 ＞ 9 . 9 9 8 , 实 测 性 能 良 好 。 该 天 线 能 够 广 泛 应 用 于 U W B M I M O 通 信 系 统 。 兰 姆 波 驱 动 微 流 体 温 度 分 布 研 究 顾 赫 ， 梁 威 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 1 5 3 2 1 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 0 7 [ 摘 要 ： ] ( 1 2 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 9 7 M K B ] ( 4 8 3 9 ) A b s t r a c t : 该 文 应 用 压 电 陶 瓷 器 件 激 发 频 率 1 M H z 的 兰 姆 波 在 非 压 电 基 板 上 进 行 了 微 流 体 温 度 分 布 的 研 究 。 经 理 论 分 析 表 明 , 兰 姆 波 向 流 体 中 辐 射 纵 波 以 及 兰 姆 波 在 介 质 中 传 播 时 的 粘 性 摩 擦 损 失 产 生 了 声 热 效 应 。 采 用 红 外 摄 像 机 观 察 液 滴 从 兰 姆 波 激 发 直 至 达 到 稳 态 时 的 热 分 布 变 化 , 发 现 液 滴 在 兰 姆 波 入 射 一 侧 的 温 度 高 于 其 他 区 域 且 高 温 区 域 有 向 顶 部 扩 散 的 趋 势 。 观 察 不 同 液 体 黏 度 液 滴 的 声 热 现 象 , 发 现 油 滴 的 温 度 扩 散 更 均 匀 , 动 力 学 行 为 更 弱 。 采 用 有 限 元 分 析 声 流 和 声 热 效 应 , 发 现 液 滴 在 顶 部 区 域 声 流 速 最 大 , 在 声 流 作 用 下 , 液 滴 的 高 温 区 域 扩 散 至 顶 部 。 基 于 多 模 态 扩 频 理 论 的 压 电 振 动 能 量 采 集 系 统 李 治 宏 ， 张 佳 佳 ， 张 金 雨 ， 王 佳 ， 马 云 宾 ， 牟 笑 静 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 6 2 3 6 6 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 6 [ 摘 要 ： ] ( 1 2 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 1 . 9 6 M K B ] ( 4 8 3 9 ) A b s t r a c t : 以 同 时 提 升 多 模 态 采 集 和 增 加 带 宽 为 研 究 方 向 , 结 合 多 模 态 扩 频 理 论 , 建 立 了 一 套 多 模 态 宽 频 且 能 多 方 向 工 作 的 压 电 振 动 能 量 采 集 系 统 。 该 系 统 包 含 能 量 采 集 器 和 电 源 管 理 电 路 两 个 模 块 。 其 中 , 采 集 器 包 括 4 种 谐 振 频 率 , 组 成 了 较 宽 的 工 作 频 带 , 保 证 了 该 采 集 器 在 低 频 振 动 工 作 环 境 下 高 效 率 地 收 集 振 动 能 量 ; 电 源 管 理 电 路 将 采 集 到 的 交 流 电 转 换 为 稳 定 的 直 流 电 , 再 对 电 容 或 电 池 等 储 能 元 件 充 电 以 供 微 电 子 器 件 使 用 。 经 过 模 态 和 谐 响 应 分 析 后 , 搭 建 了 实 验 平 台 并 对 采 集 系 统 进 行 实 验 测 试 。 实 验 结 果 表 明 , 在 加 速 度 6 m / s 2 简 谐 力 激 励 下 , 工 作 频 带 为 1 6 . 1 ~ 2 7 . 8 H z , 输 出 电 压 最 高 可 达 3 5 . 7 5 V , 阻 抗 匹 配 后 最 优 阻 值 为 2 0 0 k Ω , 此 时 输 出 功 率 为 1 1 5 . 8 5 μ W 。 J G D 提 拉 单 晶 炉 晶 体 模 型 的 数 字 化 陈 川 贵 ， 丁 雨 憧 ， 龙 勇 ， 何 晔 ， 吴 昊 ， 岑 伟 ， 李 青 蔚 2 0 2 4 , 4 6 ( 3 ) : 3 3 3 3 3 8 , D o i : 1 0 . 1 1 9 7 7 / j . i s s n . 1 0 0 4 2 4 7 4 . 2 0 2 4 . 0 3 . 0 1 0 [ 摘 要 ： ] ( 1 3 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 4 . 1 7 M K B ] ( 4 8 1 9 ) A b s t r a c t : 中 国 电 科 芯 片 研 究 院 生 产 的 J G D 提 拉 单 晶 炉 是 一 种 上 称 重 自 动 直 径 控 制 激 光 单 晶 炉 , 它 实 现 了 提 拉 法 晶 体 全 自 动 智 能 生 长 控 制 。 利 用 J G D 提 拉 单 晶 炉 控 制 软 件 建 立 提 拉 法 晶 体 数 学 模 型 , 晶 体 生 长 全 程 以 数 学 模 型 为 标 准 , 以 晶 体 质 量 为 控 制 量 进 行 实 时 闭 环 反 馈 控 制 。 该 软 件 建 立 的 晶 体 数 学 模 型 有 四 段 式 晶 体 数 学 模 型 和 任 意 多 段 晶 体 数 学 模 型 两 种 形 式 。 在 设 计 放 肩 段 时 , 四 段 式 晶 体 数 学 模 型 充 分 体 现 了 晶 体 籽 晶 段 与 放 肩 段 、 等 径 段 三 位 一 体 平 滑 过 渡 的 理 念 ; 而 任 意 多 段 晶 体 数 学 模 型 在 曲 线 设 计 上 更 加 灵 活 多 样 , 晶 体 数 学 模 型 设 计 更 便 捷 。 J G D 提 拉 单 晶 炉 控 制 软 件 晶 体 数 学 模 型 被 广 泛 用 于 多 种 晶 体 生 长 过 程 , 如 I n S b 、 Y A G 等 晶 体 。 晶 体 外 形 控 制 良 好 、 品 质 优 良 。 文 章 快 速 检 索 全 选 反 选 导 出 环 境 协 调 型 压 电 铁 电 陶 瓷 肖 定 全 , 万 征 2 0 1 6 , 2 1 ( 5 ) : 3 6 3 3 6 6 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 4 6 3 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 无 铅 压 电 陶 瓷 研 究 开 发 进 展 赁 敦 敏 , 肖 定 全 , 朱 建 国 , 余 萍 , 鄢 洪 建 2 0 1 2 , 2 5 ( 2 ) : 1 2 7 1 3 2 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 4 6 8 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 压 电 陶 瓷 微 位 移 器 驱 动 电 源 及 减 小 其 纹 波 的 方 法 冯 晓 光 赵 万 生 2 0 1 6 , 1 9 ( 1 ) : 3 5 3 8 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 1 8 6 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 压 电 泵 泵 腔 体 积 变 化 量 研 究 程 光 明 杨 志 刚 2 0 2 2 , 2 0 ( 6 ) : 3 8 9 3 9 2 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 4 0 7 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 压 电 陶 瓷 动 态 应 用 的 新 型 驱 动 电 源 研 究 尹 德 芹 , 颜 国 正 , 颜 德 田 , 林 良 明 2 0 2 4 , 2 2 ( 2 ) : 8 6 8 9 , D o i : [ 摘 要 ： ] ( 3 8 0 ) [ F u l l T e x t H T M L ] ( 0 ) [ P D F 0 . 0 0 B y t e K B ] ( 0 ) A b s t r a c t : 1 压 电 与 声 光 ® 2 0 2 5 版 权 所 有 渝 I C P 备 0 5 0 0 2 9 6 0 号 3 地 址 ： 重 庆 南 坪 花 园 路 1 4 号 , 邮 政 编 码 ： 4 0 0 0 6 0 电 话 ： 0 2 3 6 5 8 6 0 2 6 0 6 5 8 6 0 2 8 3 传 真 ： 0 2 3 6 2 8 0 3 4 2 5 E m a i l ： y d s g s i p a t @ 1 6 3 . c o m 技 术 支 持 ： 北 京 勤 云 科 技 发 展 有 限 公 司

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