杭州慧翔电液技术开发有限公司-半导体高端装置领域

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磁流体、 超导磁体、 尾气处理设备、 阀门、

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杭州慧翔电液技术开发有限公司，成立于2006年，深耕半导体高端装置领域，荣膺国家级专精特新与小巨人企业。秉持“专注高端装备制造、打造民族优秀品牌”之志，公司突破技术壁垒，创新解决方案。

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如 果 您 有 任 何 意 见 或 建 议 请 电 邮 d m h a n g z h o u @ 3 0 0 . c n 杭 州 慧 翔 电 液 技 术 开 发 有 限 公 司 半 导 体 高 端 装 置 领 域 首 页 产 品 中 心 磁 流 体 密 封 装 置 高 真 空 阀 门 晶 圆 搬 运 超 导 磁 体 尾 气 处 理 装 置 多 功 能 磁 流 体 密 封 装 置 普 通 磁 流 体 密 封 装 置 高 真 空 传 输 阀 高 真 空 角 阀 闸 阀 控 制 阀 晶 圆 搬 运 机 械 手 晶 圆 盒 自 动 装 载 机 光 伏 超 导 磁 体 半 导 体 超 导 磁 体 水 洗 式 燃 烧 水 洗 式 等 离 子 水 洗 式 解 决 方 案 新 闻 动 态 公 司 新 闻 行 业 动 态 技 术 支 持 人 才 招 聘 关 于 我 们 公 司 简 介 企 业 文 化 荣 誉 资 质 发 展 历 程 合 作 伙 伴 联 系 我 们 联 系 方 式 在 线 留 言 留 言 咨 询 定 制 方 案 赋 能 创 新 半 导 体 核 心 （ 零 ） 部 件 专 业 制 造 商 M O R E + 国 产 替 代 智 造 未 来 专 注 高 端 装 备 ， 铸 就 民 族 品 牌 M O R E + s c r o l l d o w n 磁 流 体 密 封 装 置 当 磁 性 流 体 注 入 到 具 有 磁 性 的 磁 极 座 和 转 动 轴 之 间 时 , 它 可 以 充 满 整 个 间 隙 ， 形 成 一 种 “ 液 体 O 型 密 封 图 ” , 从 而 达 到 无 磨 损 、 无 泄 漏 、 无 污 染 的 高 真 空 、 长 寿 命 的 密 封 效 果 。 同 时 研 发 出 集 成 高 精 度 旋 转 磁 流 体 密 封 装 置 ， 是 在 传 统 磁 流 体 后 端 集 成 了 高 精 度 编 码 器 、 无 框 力 矩 电 机 ， 在 驱 动 器 控 制 下 实 现 精 密 转 动 。 了 解 更 多 高 真 空 阀 门 专 为 严 苛 真 空 环 境 设 计 | 可 靠 密 封 · 精 密 控 制 · 长 效 稳 定 我 司 高 真 空 阀 门 系 列 产 品 专 用 于 真 空 系 统 ， 采 用 分 子 级 密 封 技 术 与 特 种 材 料 工 艺 ， 漏 率 低 至 1 * 1 0 ⁻ ⁹ P a · m ³ / s ， 满 足 半 导 体 制 造 、 光 伏 镀 膜 、 科 研 仪 器 、 真 空 镀 膜 等 领 域 的 严 苛 要 求 。 核 心 品 类 包 括 ： 真 空 传 输 阀 、 真 空 闸 阀 、 真 空 控 制 阀 （ 摆 阀 / 蝶 阀 ） 、 真 空 角 阀 ， 全 面 覆 盖 真 空 系 统 的 隔 离 、 调 节 、 传 输 需 求 。 了 解 更 多 晶 圆 搬 运 大 气 机 械 手 臂 通 过 和 A l i g n e r 配 合 可 以 完 成 从 片 盒 传 片 到 L o a d l o c k 腔 室 ， 或 者 从 L o a d l o c k 腔 室 回 收 完 成 工 艺 流 程 的 成 品 晶 圆 。 应 用 于 抛 光 、 外 延 、 P E C V D ， A L D 、 清 洗 晶 圆 检 测 等 半 导 体 设 备 。 了 解 更 多 超 导 磁 体 超 导 磁 体 是 利 用 N b T i 材 料 在 低 温 下 的 超 导 特 性 ， 在 2 6 8 . 9 5 ℃ 下 获 得 0 电 阻 和 抗 磁 特 性 。 外 接 直 流 电 流 产 生 磁 场 并 作 用 在 炉 室 内 的 坩 埚 中 的 硅 熔 体 上 ， 磁 场 对 硅 熔 体 的 热 对 流 产 生 有 效 抑 制 、 降 低 晶 棒 氧 含 量 、 提 高 少 子 寿 命 、 减 少 同 心 圆 现 象 。 了 解 更 多 尾 气 处 理 装 置 尾 气 处 理 设 备 用 于 半 导 体 ， 面 板 ， 太 阳 能 电 池 行 业 的 有 害 气 体 处 理 ， 是 一 种 环 保 设 备 。 在 生 产 制 造 中 使 用 到 的 化 学 物 质 种 类 繁 多 , 所 用 到 的 原 物 料 或 副 产 物 含 有 多 种 有 害 性 气 体 ， 在 制 程 后 出 现 残 留 成 为 废 气 ， 尾 气 处 理 设 备 ( L o c a l S c r u b b e r ) 设 置 目 的 ， 就 是 为 了 处 理 诸 如 此 类 的 毒 性 ， 腐 蚀 性 ， 易 燃 性 ， 温 室 气 体 等 有 害 性 气 体 。 应 用 于 半 导 体 硅 片 外 延 、 S i C 、 M O C V D 、 芯 片 制 造 C V D 、 D r y E T C H 、 F u r n a c e 等 。 了 解 更 多 产 品 中 心 P r o d u c t s c e n t e r 2 0 0 6 年 成 立 时 间 2 0 万 台 + 磁 流 体 2 0 0 台 + 超 导 磁 体 5 0 0 台 + 尾 气 设 备 关 于 我 们 A B O U T U S 杭 州 慧 翔 电 液 技 术 开 发 公 司 公 司 成 立 于 2 0 0 6 年 ， 深 耕 半 导 体 高 端 装 置 领 域 ， 荣 膺 国 家 级 专 精 特 新 与 小 巨 人 企 业 。 秉 持 “ 专 注 高 端 装 备 制 造 、 打 造 民 族 优 秀 品 牌 ” 之 志 ， 公 司 突 破 技 术 壁 垒 ， 创 新 解 决 方 案 ， 先 后 推 出 了 磁 流 体 密 封 装 置 、 光 伏 超 导 磁 体 、 尾 气 处 理 装 置 、 高 真 空 阀 门 、 机 械 手 、 L o a d p o r t 等 产 品 ， 领 跑 行 业 ， 广 泛 应 用 于 光 伏 、 半 导 体 等 尖 端 领 域 ， 有 力 缓 解 高 端 装 备 核 心 部 件 供 应 难 题 ， 彰 显 民 族 企 业 创 新 力 量 。 企 业 文 化 发 展 历 程 荣 誉 资 质 了 解 更 多 半 导 体 行 业 磁 流 体 密 封 传 动 装 置 应 用 在 M O C V D 半 导 体 设 备 中 实 现 钼 托 盘 旋 转 密 封 ； 磁 流 体 密 封 传 动 装 置 应 用 在 磁 流 体 封 装 电 机 和 编 码 器 ， 可 通 过 驱 动 器 控 制 磁 流 体 旋 转 ， 能 够 实 现 高 速 稳 定 旋 转 并 精 确 定 位 查 看 更 多 镀 膜 行 业 磁 流 体 密 封 传 动 装 置 应 用 在 磁 控 镀 膜 设 备 、 光 学 镀 膜 设 备 上 ， 实 现 密 封 的 同 时 实 现 靶 盘 的 旋 转 和 密 封 。 磁 流 体 密 封 传 动 装 置 应 用 在 连 续 腔 体 镀 膜 设 备 磁 流 体 主 要 实 现 为 工 件 传 动 做 密 封 查 看 更 多 光 伏 行 业 磁 流 体 密 封 传 动 装 置 应 用 在 光 伏 行 业 的 单 晶 炉 上 ， 实 现 晶 棒 的 提 升 、 旋 转 密 封 以 及 坩 埚 的 升 降 旋 转 密 封 查 看 更 多 合 作 伙 伴 深 耕 半 导 体 高 端 装 置 领 域 ， 荣 膺 国 家 级 专 精 特 新 与 小 巨 人 企 业 智 造 未 来   赋 能 半 导 体 产 业 新 生 态 专 注 高 端 装 制 造 打 造 民 族 优 秀 品 牌 了 解 更 多 新 闻 动 态 及 时 更 新 公 司 相 关 动 态 、 通 知 公 告 ！ 0 1 2 0 2 5 0 4 杭 州 慧 翔 S E M I C O N C h i n a 2 0 2 5 首 秀 — — 以 专 业 实 力 赋 能 半 导 体 产 业 链 2 0 2 5 年 3 月 2 6 日 至 2 8 日 ， 全 球 半 导 体 行 业 的 盛 会 — — S E M I C O N C h i n a 2 0 2 5 在 上 海 新 国 际 博 览 中 心 举 行 。 本 届 展 会 以 “ 破 局 · 共 生 ” 为 主 题 ， 吸 引 了 超 过 1 , 4 0 0 家 参 展 商 ， 展 览 面 积 达 1 0 万 平 方 米 ， 规 模 再 创 新 高 。 杭 州 慧 翔 电 液 作 为 半 导 体 核 心 零 部 件 的 专 业 制 造 商 ， 首 次 参 展 便 凭 借 卓 越 的 技 术 实 力 和 创 新 产 品 成 为 展 会 焦 点 。 1 2 2 0 2 5 0 3 磁 流 体 传 动 密 封 技 术 介 绍 ： 革 新 工 业 密 封 领 域 的 未 来 之 星 近 日 ， 随 着 工 业 领 域 的 飞 速 发 展 ， 一 种 名 为 磁 流 体 传 动 密 封 技 术 的 创 新 科 技 引 起 了 广 大 工 程 师 和 技 术 爱 好 者 的 关 注 。 这 种 技 术 以 其 独 特 的 优 势 ， 正 在 革 新 传 统 的 密 封 技 术 ， 并 受 到 业 内 专 家 的 高 度 评 价 。 今 天 ， 让 我 们 共 同 了 解 这 一 引 人 注 目 的 技 术 进 展 。 1 2 2 0 2 5 0 3 光 伏 行 业 蓬 勃 发 展 ， 绿 色 能 源 革 命 引 领 未 来 近 日 ， 光 伏 行 业 迎 来 了 其 历 史 上 前 所 未 有 的 发 展 机 遇 。 在 全 球 加 速 转 向 可 再 生 能 源 的 背 景 下 ， 光 伏 技 术 凭 借 其 高 效 、 环 保 的 特 性 赢 得 了 广 泛 关 注 。 本 文 将 从 多 个 角 度 探 讨 光 伏 行 业 的 现 状 和 未 来 发 展 趋 势 。 首 页 产 品 中 心 磁 流 体 密 封 装 置 多 功 能 磁 流 体 密 封 装 置 普 通 磁 流 体 密 封 装 置 高 真 空 阀 门 高 真 空 传 输 阀 高 真 空 角 阀 闸 阀 控 制 阀 晶 圆 搬 运 晶 圆 搬 运 机 械 手 晶 圆 盒 自 动 装 载 机 超 导 磁 体 光 伏 超 导 磁 体 半 导 体 超 导 磁 体 尾 气 处 理 装 置 水 洗 式 燃 烧 水 洗 式 等 离 子 水 洗 式 解 决 方 案 新 闻 动 态 公 司 新 闻 行 业 动 态 技 术 支 持 人 才 招 聘 关 于 我 们 公 司 简 介 企 业 文 化 荣 誉 资 质 发 展 历 程 合 作 伙 伴 联 系 我 们 联 系 方 式 在 线 留 言 南 方 区   林 盈 忠 北 方 区   蔺 宇 a l l e n _ l i n @ j s j d . c c l i n y u @ j s j d . c c   1 5 0 6 2 6 6 6 3 1 2 1 3 3 2 1 1 6 2 0 8 9 地 址 ： 浙 江 省 杭 州 市 临 平 区 顺 达 路 5 0 0 号   C o p y r i g h t   ©   杭 州 慧 翔 电 液 技 术 开 发 有 限 公 司 版 权 所 有 电 话 ： 1 5 0 6 2 6 6 6 3 1 2 A l l e n ： a l l e n _ l i n @ j s j d . c c S o r r y ， 当 前 栏 目 暂 无 内 容 ! 您 可 以 查 看 其 他 栏 目 或 返 回 首 页 S o r r y ， T h e c u r r e n t c o l u m n h a s n o c o n t e n t ! 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