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G ） 显 影 模 ( S P I N D E V ) O V E N 单 元 （ 冷 热 板 及 增 粘 功 能 可 选 ） 同 片 盒 内 每 个 硅 片 可 分 别 制 定 工 艺 运 行 自 带 暂 停 / 恢 复 功 能 , 以 及 故 障 排 除 功 能 ， 排 风 自 动 调 节 （ 可 选 ） W a f e r S i z e : 2 1 2 英 寸 （ 兼 容 尺 寸 依 据 客 户 晶 圆 尺 寸 可 选 ） 全 自 动 匀 胶 显 影 一 体 机 设 备 和 各 工 位 全 封 闭 设 计 ， 不 受 外 环 境 干 扰 设 备 实 现 2 1 2 晶 圆 涂 胶 （ S P I N C O A T I N G ） 显 影 模 ( S P I N D E V ) O V E N 单 元 （ 冷 热 板 及 增 粘 功 能 可 选 ） 同 片 盒 内 每 个 硅 片 可 分 别 制 定 工 艺 运 行 自 带 暂 停 / 恢 复 功 能 , 以 及 故 障 排 除 功 能 ， 排 风 自 动 调 节 （ 可 选 ） > 6 / 8 英 寸 全 自 动 匀 胶 显 影 机 自 动 匀 胶 显 影 机 / 自 动 清 洗 机 市 场 价 : 1 5 0 0 0 0 0 . 0 0 价 格 : 1 5 0 0 0 0 0 . 0 0 W a f e r S i z e : 2 1 2 英 寸 （ 兼 容 尺 寸 依 据 客 户 晶 圆 尺 寸 可 选 ） 全 自 动 匀 胶 显 影 一 体 机 设 备 和 各 工 位 全 封 闭 设 计 ， 不 受 外 环 境 干 扰 设 备 实 现 2 1 2 晶 圆 涂 胶 （ S P I N C O A T I N G ） 显 影 模 ( S P I N D E V ) O V E N 单 元 （ 冷 热 板 及 增 粘 功 能 可 选 ） 同 片 盒 内 每 个 硅 片 可 分 别 制 定 工 艺 运 行 自 带 暂 停 / 恢 复 功 能 , 以 及 故 障 排 除 功 能 ， 排 风 自 动 调 节 （ 可 选 ） W a f e r S i z e : 2 1 2 英 寸 （ 兼 容 尺 寸 依 据 客 户 晶 圆 尺 寸 可 选 ） 全 自 动 匀 胶 显 影 一 体 机 设 备 和 各 工 位 全 封 闭 设 计 ， 不 受 外 环 境 干 扰 设 备 实 现 2 1 2 晶 圆 涂 胶 （ S P I N C O A T I N G ） 显 影 模 ( S P I N D E V ) O V E N 单 元 （ 冷 热 板 及 增 粘 功 能 可 选 ） 同 片 盒 内 每 个 硅 片 可 分 别 制 定 工 艺 运 行 自 带 暂 停 / 恢 复 功 能 , 以 及 故 障 排 除 功 能 ， 排 风 自 动 调 节 （ 可 选 ） > 1 2 英 寸 自 动 匀 胶 显 影 机 － 爱 姆 加 电 子 自 动 匀 胶 显 影 机 / 自 动 清 洗 机 市 场 价 : 3 0 0 0 0 0 0 . 0 0 价 格 : 3 0 0 0 0 0 0 . 0 0 P u m p i n g 封 装 、 3 D T S V 、 M E M S 、 O L E D 等 领 域 P R 工 艺 涂 胶 胶 显 影 W a f e r S i z e : 1 2 英 寸 全 自 动 匀 胶 显 影 一 体 机 设 备 和 各 工 位 全 封 闭 设 计 ， 不 受 外 环 境 干 扰 晶 圆 涂 胶 （ S P I N C O A T I N G ） 显 影 模 ( S P I N D E V ) O V E N 单 元 （ 冷 热 板 及 增 粘 功 能 可 选 ） 同 片 盒 内 每 个 硅 片 可 分 别 制 定 工 艺 运 行 自 带 暂 停 / 恢 复 功 能 , 以 及 故 障 排 除 功 能 ， 排 风 自 动 调 节 （ 可 选 ） P u m p i n g 封 装 、 3 D T S V 、 M E M S 、 O L E D 等 领 域 P R 工 艺 涂 胶 胶 显 影 W a f e r S i z e : 1 2 英 寸 全 自 动 匀 胶 显 影 一 体 机 设 备 和 各 工 位 全 封 闭 设 计 ， 不 受 外 环 境 干 扰 晶 圆 涂 胶 （ S P I N C O A T I N G ） 显 影 模 ( S P I N D E V ) O V E N 单 元 （ 冷 热 板 及 增 粘 功 能 可 选 ） 同 片 盒 内 每 个 硅 片 可 分 别 制 定 工 艺 运 行 自 带 暂 停 / 恢 复 功 能 , 以 及 故 障 排 除 功 能 ， 排 风 自 动 调 节 （ 可 选 ） > 半 自 动 涂 胶 显 影 机 － 爱 姆 加 电 子 自 动 匀 胶 显 影 机 / 自 动 清 洗 机 市 场 价 : 5 0 0 0 0 0 . 0 0 价 格 : 5 0 0 0 0 0 . 0 0 晶 圆 尺 寸 ： 2 1 2 英 寸 可 选 功 能 ： 手 动 上 下 取 片 、 其 他 工 艺 自 动 完 成 自 动 滴 胶 、 甩 胶 、 匀 胶 光 刻 机 供 胶 系 统 ： 胶 路 可 选 配 （ 需 前 提 告 知 胶 粘 度 ） E B R 清 洗 B S R 清 洗 功 能 选 配 可 选 配 高 效 F F U 功 能 晶 片 固 定 方 式 有 ： 机 械 夹 所 持 与 真 空 吸 附 晶 圆 尺 寸 ： 2 1 2 英 寸 可 选 功 能 ： 手 动 上 下 取 片 、 其 他 工 艺 自 动 完 成 自 动 滴 胶 、 甩 胶 、 匀 胶 光 刻 机 供 胶 系 统 ： 胶 路 可 选 配 （ 需 前 提 告 知 胶 粘 度 ） E B R 清 洗 B S R 清 洗 功 能 选 配 可 选 配 高 效 F F U 功 能 晶 片 固 定 方 式 有 ： 机 械 夹 所 持 与 真 空 吸 附 > 全 息 光 栅 方 形 基 片 涂 胶 机 全 息 光 栅 匀 胶 / 显 影 机 市 场 价 : 2 0 0 0 0 0 0 0 . 0 0 价 格 : 2 0 0 0 0 0 0 0 . 0 0 方 形 基 片 匀 胶 机 ， 主 要 用 于 完 成 方 形 基 片 （ 全 息 光 栅 涂 胶 机 ） 大 尺 寸 玻 璃 片 匀 胶 机 、 方 形 基 片 显 影 机 等 匀 胶 、 显 影 、 清 洗 工 艺 大 尺 寸 的 玻 璃 以 及 厚 度 在 2 0 M M 以 内 的 基 片 光 刻 胶 及 化 学 药 液 的 供 给 系 统 可 选 方 形 基 片 匀 胶 机 ， 主 要 用 于 完 成 方 形 基 片 （ 全 息 光 栅 涂 胶 机 ） 大 尺 寸 玻 璃 片 匀 胶 机 、 方 形 基 片 显 影 机 等 匀 胶 、 显 影 、 清 洗 工 艺 大 尺 寸 的 玻 璃 以 及 厚 度 在 2 0 M M 以 内 的 基 片 光 刻 胶 及 化 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匀 胶 显 影 机 / 自 动 清 洗 机 市 场 价 : 5 0 0 0 0 0 . 0 0 价 格 : 5 0 0 0 0 0 . 0 0 匀 胶 机 针 对 实 验 室 匀 胶 机 立 柜 式 匀 胶 机 可 选 配 自 动 滴 胶 以 及 加 有 上 盖 的 防 溅 功 能 主 轴 转 速 ： 2 0 0 ～ 8 0 0 0 R P M 精 度 ± 1 R P M ， 转 速 可 调 匀 胶 机 针 对 实 验 室 匀 胶 机 立 柜 式 匀 胶 机 可 选 配 自 动 滴 胶 以 及 加 有 上 盖 的 防 溅 功 能 主 轴 转 速 ： 2 0 0 ～ 8 0 0 0 R P M 精 度 ± 1 R P M ， 转 速 可 调 > 新 开 发 产 品           半 自 动 清 洗 机 新 开 发 设 备 市 场 价 : 0 . 0 0 价 格 : 0 . 0 0 半 导 体 晶 圆 清 洗 机 新 开 发 设 备 市 场 价 : 0 . 0 0 价 格 : 0 . 0 0 基 本 尺 寸 规 格 ： 4 / 6 / 8 寸 标 准 晶 圆 ， 晶 圆 厚 度 8 0 1 0 0 u m R C W 清 洗 设 备 的 生 产 A P M 1 # 液 去 表 面 颗 粒 及 金 属 杂 质 H P M 2 # 液 去 金 属 粒 子 设 排 风 风 压 检 测 控 制 系 统 采 用 P L C 控 制 ， 可 通 过 通 信 协 议 指 令 控 制 整 机 元 器 件 通 过 C E , C C C , 或 U L 认 证 ， 性 能 可 靠 稳 定 基 本 尺 寸 规 格 ： 4 / 6 / 8 寸 标 准 晶 圆 ， 晶 圆 厚 度 8 0 1 0 0 u m R C W 清 洗 设 备 的 生 产 A P M 1 # 液 去 表 面 颗 粒 及 金 属 杂 质 H P M 2 # 液 去 金 属 粒 子 设 排 风 风 压 检 测 控 制 系 统 采 用 P L C 控 制 ， 可 通 过 通 信 协 议 指 令 控 制 整 机 元 器 件 通 过 C E , C C C , 或 U L 认 证 ， 性 能 可 靠 稳 定 > 小 型 精 密 狭 缝 涂 布 机 新 开 发 设 备 市 场 价 : 0 . 0 0 价 格 : 0 . 0 0 高 精 度 狭 缝 式 涂 布 机 是 在 不 同 刚 性 或 柔 性 基 材 上 制 备 涂 布 工 艺 的 理 性 选 择 。 无 论 是 需 要 进 行 纳 米 级 及 亚 微 米 级 功 能 性 涂 层 的 涂 布 试 验 还 是 墨 水 调 试 、 工 艺 研 究 、 小 规 模 制 样 研 发 等 还 是 大 面 积 涂 布 制 备 ， 狭 缝 涂 布 机 都 能 提 供 高 效 精 准 的 数 据 获 取 和 分 析 能 力 。 高 精 度 狭 缝 式 涂 布 机 是 在 不 同 刚 性 或 柔 性 基 材 上 制 备 涂 布 工 艺 的 理 性 选 择 。 无 论 是 需 要 进 行 纳 米 级 及 亚 微 米 级 功 能 性 涂 层 的 涂 布 试 验 还 是 墨 水 调 试 、 工 艺 研 究 、 小 规 模 制 样 研 发 等 还 是 大 面 积 涂 布 制 备 ， 狭 缝 涂 布 机 都 能 提 供 高 效 精 准 的 数 据 获 取 和 分 析 能 力 。 > 废 气 处 理 新 开 发 设 备 市 场 价 : 0 . 0 0 价 格 : 0 . 0 0 废 气 处 理 设 备 生 产 加 工 ， 可 以 到 现 场 测 量 定 制 处 理 极 别 选 配 直 径 及 高 度 可 订 制 废 气 处 理 设 备 生 产 加 工 ， 可 以 到 现 场 测 量 定 制 处 理 极 别 选 配 直 径 及 高 度 可 订 制 > 更 多 — — —       A b o u t u s           — — — 走 进 我 们 公 司 N E W S   新 闻 中 心       公 开 招 标 ： 暨 南 大 学 大 尺 寸 基 片 匀 胶 显 影 设 备 采 购 2 0 2 0 0 3 2 7 大 尺 寸 基 片 匀 胶 显 影 设 备 采 购 项 目 （ 0 8 0 9 1 9 4 1 G D G 1 3 9 1 1 ） 中 标 结 果 公 告 【 详 细 】 2 0 2 0 0 3 2 7 中 国 “ 匀 胶 显 影 机 ” 行 业 市 场 前 景 分 析 预 测 报 告 2 0 2 0 0 3 2 7 匀 胶 显 影 机 用 机 械 手 2 0 2 0 0 3 2 7 华 灿 （ 光 电 ） 张 家 港 2 0 2 0 0 3 2 7 光 刻 机 匀 胶 显 影 工 艺 前 后 的 主 要 设 备 2 0 2 0 0 3 2 7 中 国 科 技 大 学 [ 行 业 动 态 ] S i C 全 自 动 匀 胶 显 影 机 2 0 2 0 0 3 2 7 [ 行 业 动 态 ] 涂 胶 显 影 机 产 能 分 析 2 0 2 0 0 3 2 7 [ 行 业 动 态 ] 匀 胶 、 刮 胶 、 弯 月 牙 涂 胶 方 法 的 区 别 2 0 2 0 0 3 2 7 [ 行 业 动 态 ] 爱 发 科 U L V A C 低 温 泵 冷 泵 , 2 0 2 0 0 3 2 7 [ 行 业 动 态 ] 金 属 剥 离 工 艺 l i f t o f f 2 0 2 0 0 3 2 7 [ 行 业 动 态 ] 公 开 招 标 ： 暨 南 大 学 大 尺 寸 基 片 匀 胶 显 影 设 备 采 购 2 0 2 0 0 3 2 7 [ 行 业 动 态 ] 高 温 热 板 烘 烤 2 0 2 0 0 3 2 7 [ 行 业 动 态 ] 匀 胶 机 视 频 2 0 2 0 0 3 2 7 更 多 首 页 关 于 我 们 产 品 中 心 案 例 展 示 新 闻 中 心 在 线 留 言 联 系 我 们 中 国 西 安 市 未 央 区 石 化 大 道 南 徐 寨 工 业 园 爱 姆 加 电 子 1 5 8 9 1 7 5 0 9 2 8   /   0 2 9 8 3 6 2 7 3 9 9 5 1 2 5 2 4 9 4 @ q q . c o m C O P Y R I G H T © 2 0 1 1 2 0 2 0 .   陕 西 爱 姆 加 电 子 设 备 有 限 公 司

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