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上 海 荏 原 精 密 机 械 有 限 公 司 上 海 荏 原 精 密 机 械 有 限 公 司 S h a n g h a i E b a r a P r e c i s i o n M a c h i n e r y C o . , L t d . 首 页 关 于 我 们 公 司 简 介 集 团 历 史 经 营 理 念 品 牌 宣 言 公 司 荣 誉 产 品 中 心 真 空 解 决 方 案 化 学 机 械 研 磨 设 备 尾 气 处 理 设 备 臭 氧 发 生 装 置 晶 圆 电 镀 装 置 边 缘 研 磨 设 备 应 用 行 业 S E M I P V L E D F P D G V 技 术 支 持 产 品 资 料 视 频 资 料 公 司 动 态 公 司 新 闻 行 业 新 闻 联 系 我 们 联 系 方 式 在 线 留 言 全 球 布 局 人 才 招 聘 × 0 1 / 0 4 荏 原 精 密 机 械 A B O U T U S 质 量 保 证 | 贴 心 服 务 | 技 术 成 熟 上 海 荏 原 精 密 机 械 有 限 公 司 隶 属 于 株 式 会 社 日 本 荏 原 制 作 所 下 设 精 密 电 子 事 业 群 ， 是 一 家 以 半 导 体 制 造 设 备 为 主 的 提 供 营 销 、 维 修 以 及 售 后 服 务 的 外 商 独 资 企 业 。 公 司 成 立 于 1 9 9 9 年 4 月 ， 注 册 资 本 4 . 9 5 亿 日 元 ， 位 于 上 海 浦 东 新 区 ， 业 务 范 围 主 要 涵 盖 真 空 泵 、 化 学 机 械 研 磨 机 、 电 镀 机 、 尾 气 处 理 装 置 等 产 品 的 销 售 、 售 后 服 务 、 技 术 支 持 等 。 查 看 更 多 1 9 9 9 年 公 司 成 立 于 1 1 6 家 全 球 子 公 司 5 0 亿 元 注 册 资 本 产 品 中 心 P R O D U C T 一 家 以 半 导 体 制 造 设 备 为 主 的 提 供 营 销 、 维 修 以 及 售 后 服 务 的 外 商 独 资 企 业 真 空 解 决 方 案 化 学 机 械 研 磨 设 备 尾 气 处 理 设 备 臭 氧 发 生 装 置 0 1 / E V X 干 式 真 空 泵 由 于 工 艺 负 荷 和 复 杂 性 的 增 加 ， 安 装 在 S u b f a b 中 的 组 件 系 统 的 数 量 也 在 增 加 。 对 体 积 更 小 、 更 能 承 担 高 负 荷 的 真 空 泵 的 需 求 与 日 俱 增 。 荏 原 专 门 应 对 此 部 分 市 场 需 求 ， 推 出 了 干 式 真 空 泵 E V X 型 。 满 足 顾 客 对 小 型 化 、 高 负 荷 真 空 泵 的 要 求 。 覆 盖 多 种 工 艺 流 程 小 型 化 设 计 、 交 货 期 短 耐 用 性 高 、 拥 有 总 成 本 低 廉 广 泛 的 荏 原 技 术 支 援 网 络 查 看 更 多 0 2 / E V M 干 式 真 空 泵 E V M 机 型 是 专 为 重 制 程 应 用 而 设 计 的 罗 茨 泵 ， 在 半 导 体 、 液 晶 和 光 伏 电 池 等 有 大 量 副 产 物 的 制 程 中 有 大 量 实 绩 。 E V M 掌 握 了 抵 抗 重 制 程 应 用 和 能 源 效 率 之 间 的 平 衡 ， 以 充 分 满 足 客 户 的 需 要 ， 同 时 减 少 停 机 时 间 和 降 低 运 行 成 本 。 智 能 转 速 控 制 功 能 ， 保 证 足 够 的 气 体 吞 吐 量 占 地 面 积 小 能 耗 低 ， 能 效 高 镍 合 金 ， 镍 涂 层 等 耐 腐 蚀 型 材 料 选 配 查 看 更 多 0 3 / E S T 干 式 真 空 泵 E S T 机 型 基 于 荏 原 创 新 性 的 螺 杆 泵 技 术 制 造 ， 擅 长 应 对 重 制 程 反 应 产 生 的 化 学 副 产 物 。 E S T 最 适 合 粉 状 、 腐 蚀 性 和 可 能 需 求 一 定 高 温 的 应 用 。 镍 合 金 ， 镍 涂 层 等 耐 腐 蚀 型 材 料 选 配 智 能 转 速 控 制 功 能 ， 保 证 足 够 的 气 体 吞 吐 量 先 进 的 预 警 和 报 警 数 据 存 储 能 力 手 动 报 警 设 置 功 能 ( 可 编 程 的 L C D 控 制 器 ) 查 看 更 多 0 1 / F R E X 3 0 0 X 化 学 机 械 研 磨 设 备 M o d e l F R E X 系 列 本 装 置 是 用 于 无 尘 室 中 对 半 导 体 晶 元 表 面 进 行 化 学 机 械 研 磨 的 C M P 设 备 。 设 备 具 备 经 市 场 证 明 了 的 高 度 可 靠 以 及 优 越 的 过 程 处 理 性 能 , 并 能 对 各 个 客 户 的 特 殊 规 格 要 求 进 行 灵 活 应 对 。 干 进 干 出 有 支 持 大 批 量 生 产 的 多 样 辅 助 设 备 优 越 的 工 艺 性 能 灵 活 对 应 各 用 户 的 特 殊 规 格 要 求 查 看 更 多 0 2 / F R E X 2 0 0 M 2 化 学 机 械 研 磨 设 备 M o d e l F R E X 系 列 本 装 置 是 用 于 无 尘 室 中 对 半 导 体 晶 元 表 面 进 行 化 学 机 械 研 磨 的 C M P 设 备 。 设 备 具 备 经 市 场 证 明 了 的 高 度 可 靠 以 及 优 越 的 过 程 处 理 性 能 , 并 能 对 各 个 客 户 的 特 殊 规 格 要 求 进 行 灵 活 应 对 。 干 进 干 出 有 支 持 大 批 量 生 产 的 多 样 辅 助 设 备 优 越 的 工 艺 性 能 灵 活 对 应 各 用 户 的 特 殊 规 格 要 求 查 看 更 多 0 1 / G 6 系 列 尾 气 处 理 设 备 G 6 机 型 能 够 吸 收 大 多 数 一 般 流 程 和 清 洁 气 体 ， 包 括 用 于 半 导 体 、 液 晶 面 板 、 太 阳 能 电 池 和 l e d 制 造 业 务 的 全 氟 化 碳 。 G 6 机 型 是 在 G 5 机 型 基 础 上 发 展 而 来 的 ， 非 常 适 合 大 流 量 高 热 产 氢 气 体 的 使 用 。 进 气 量 是 G 5 机 型 的 3 倍 去 除 粉 状 副 产 物 ， 运 行 时 间 长 低 运 行 成 本 ， 能 够 根 据 多 种 气 体 按 需 调 整 燃 料 流 量 设 计 上 方 便 维 护 ， 适 用 于 高 气 体 负 载 比 如 大 容 量 粉 状 副 产 物 捕 集 查 看 更 多 0 2 / G 5 系 列 尾 气 处 理 设 备 E G 5 机 型 能 适 用 于 大 部 分 制 程 的 尾 气 清 理 ， 包 含 半 导 体 、 液 晶 面 板 、 太 阳 能 电 池 和 L E D 制 造 过 程 中 的 废 气 包 括 全 氟 化 合 物 。 该 集 成 系 统 可 自 动 高 效 去 除 粉 状 副 产 物 ， 从 而 实 现 维 护 和 运 行 成 本 的 降 低 。 高 效 处 理 各 种 气 体 , 包 括 温 室 气 体 ， 全 氟 化 合 物 等 可 根 据 气 体 种 类 按 需 调 节 燃 料 流 量 ， 从 而 降 低 运 行 成 本 自 动 清 洗 、 去 除 粉 状 副 产 物 ， 增 长 运 行 时 间 查 看 更 多 0 1 / O Z W 臭 氧 发 生 装 置 O Z W 机 型 通 过 荏 原 独 特 的 清 洁 型 高 浓 度 臭 氧 水 发 生 器 和 无 尘 泵 ， 可 以 最 大 限 度 地 减 少 脉 动 和 颗 粒 ， 产 生 高 浓 度 的 纯 净 水 。 全 新 o z w 溶 解 方 式 优 良 的 浓 度 稳 定 性 可 选 择 的 供 水 方 式 查 看 更 多 新 闻 资 讯 N E W S 暂 无 数 据 上 海 荏 原 精 密 机 械 有 限 公 司 S h a n g h a i E b a r a P r e c i s i o n M a c h i n e r y C o . , L t d . 关 于 我 们 公 司 简 介 集 团 历 史 经 营 理 念 品 牌 宣 言 公 司 荣 誉 产 品 中 心 真 空 解 决 方 案 化 学 机 械 研 磨 设 备 尾 气 处 理 设 备 臭 氧 发 生 装 置 晶 圆 电 镀 装 置 边 缘 研 磨 设 备 应 用 行 业 S E M I P V L E D F P D G V 技 术 支 持 产 品 资 料 视 频 资 料 公 司 动 态 公 司 新 闻 行 业 新 闻 联 系 我 们 联 系 方 式 在 线 留 言 全 球 布 局 人 才 招 聘 全 国 服 务 热 线 0 2 1 6 0 5 8 1 8 9 9 0 2 1 6 1 4 6 0 1 3 9 上 海 市 浦 东 新 区 张 江 高 科 技 园 区 祥 科 路 2 6 8 号 佑 越 国 际 3 0 3 、 3 0 5 室 《 荏 原 集 团 个 人 信 息 保 护 方 针 》 关 注 微 信 公 众 号 版 权 所 有 上 海 荏 原 精 密 机 械 有 限 公 司 C o p y r i g h t © 2 0 2 3 A l l r i g h t s r e s e r v e d 沪 I C P 备 2 0 2 0 0 3 6 0 1 9 号 沪 公 网 安 备 3 1 0 1 1 5 0 2 0 0 2 8 5 7 号

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